国产高端仪器替代
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引领战略赛道 聚光科技半导体痕量杂质分析检测方案实现规模化应用
全景网· 2025-11-06 04:16
公司业务与技术进展 - 公司推出的EXPEC 7350s型ICP-MS/MS系统已在半导体检测领域构建覆盖高纯湿化学品、光刻胶、硅烷、晶圆体/表金属残留及高纯石英材料的痕量杂质分析检测整体解决方案体系,并在产业链上游实现规模化应用[1][2] - EXPEC 7350s型ICP-MS/MS系统成功通过晶圆制造巨头企业在高纯湿化学品金属杂质监控体系中的应用评估,并在晶圆表面金属污染检测(VPD-ICP-MS/MS)领域通过头部企业验证评估,标志公司技术已深度渗透至半导体制造的核心质控环节[3] - 公司AMC-1000微污染气体监测系统整合质谱、傅里叶红外及CRDS光腔衰荡等核心技术,可精准监测半导体工业生产空间内的主要气相分子污染物,支持直接采样并自动完成全组分定量分析,最高可实现64路气体切换[3] - 公司GDM系列特气报警仪产品推广应用取得突破,已获得芯片制造企业高度认可,截至2025年上半年,数千台该系列特气报警仪已被芯片及面板制造企业采购入厂[3] - 公司常规空气质量监测系统(AQMS系列)已实现全系列产品通过美国环境保护署(US EPA)认证,成为国内首家达成该全线认证的高端分析仪器制造商,为公司进一步开拓全球市场奠定技术基础[4] 行业市场与前景 - 半导体计量与检测设备是半导体制造设备领域的核心赛道之一,技术壁垒高、战略价值突出,直接影响半导体制造的精度与效率[2] - 2024年全球半导体计量和检验市场规模约为98亿美元,到2034年将达到187亿美元,2025-2034年复合年增长率达6.9%[2] - 杂质元素分析是集成电路制造工艺中不可或缺的质量控制技术,电感耦合等离子体串联质谱联用技术(ICP-MS/MS)凭借超痕量检测能力与多元素同步分析优势,已成为半导体行业杂质检测的主流技术手段[2] 公司战略与定位 - 公司以高端分析仪器的研制、产业化及创新应用自主可控为己任,坚持自主研发、持续创新,推动国产高端科学仪器从“可用”走向“好用”、从“单点”走向“谱系”、从“替代”走向“引领”[4][5] - 公司作为高端分析仪器研制、产业化及创新应用领域的核心供应商,凭借国内领先的质谱、色谱、光谱核心技术与产品平台,构建了覆盖智慧环境、智慧工业、智慧实验室、生命科学的多元化业务矩阵[1] - 公司可为环境、应急安全、半导体、材料、食药、生命科学等众多行业客户,提供分析仪器、试剂耗材、信息化软件、运维服务、检测服务、咨询服务的一体化创新产品组合与定制化解决方案[1]