上海微电子光刻机中标事件 - 上海微电子装备（集团）股份有限公司中标“zycgr22011903”采购项目，提供一台步进扫描式光刻机，成交金额为10999.985万元（约1.1亿元人民币）[1][4] - 中标设备型号为SSC800/10，其中“SSC”为首次公开的光刻机型号代号，“SS”或代表“步进扫描式”，这是当前主流精密制程EUV和DUV光刻机采用的工作方案[5] - 此次采购采用“单一来源采购”方式，通常意味着货物或服务使用了不可替代的专利或专有技术，或项目有特殊要求，只能从特定供应商处采购[5] - 采购主体“zycgr22011903”使用了保密代码，通常代表有保密需求的特定机构或项目，该主体近期在半导体领域还招标了晶圆清洗机、椭偏仪、PECVD、ALE、电子束光刻机等设备[6] 国内光刻机技术进展与对比 - 上海微电子已于今年5月官宣实现90nm ArF光刻机的量产[1] - 国内其他技术突破包括：哈尔滨工业大学成功研发13.5nm极紫外光刻光源，中科院上海光机所的深紫外光源系统将工艺极限理论值提升至3纳米[9] - 上海微电子此次约1.1亿元的中标金额，远高于该保密主体其他百万或小千万级别的半导体设备招标金额[6] - 全球光刻机龙头阿斯麦的DUV和EUV光刻机整机价格分别在5亿元人民币和10亿元人民币以上，价格仍远高于上海微电子的产品[6] 资本市场反应与板块表现 - 中标信息公布后，光刻机概念股在资本市场异动拉升，张江高科股价在5分钟内一度飙涨超7%，收盘涨近5%，国风新材直线涨停，华软科技、华融化学、高盟新材等概念股均有冲高表现[7][9] - 截至12月25日收盘，张江高科市值接近660亿元[10] - 今年以来，光刻机板块受到资金热烈追捧，年内涨幅已超过76%[8][10] - 在48只光刻机概念股中，已有13只股票年内股价实现翻倍，其中联合化学年内涨幅达451.88%，腾景科技涨幅达366.81%[10][11]