芯源微围绕前道涂胶显影、前道单片清洗、后道先进封装三大主赛道。新一代架构涂胶显影机26 年可 在客户端看到整体表现；化学清洗瞄准超临界和高温硫酸两款高端机台实现卡位；高端封装设备聚焦热 压键合技术。 在控股股东北方华创的赋能下，公司有望实现业绩高速增长。 涂胶显影：公司目前系国内唯一可提供量产型前道涂胶显影机的厂商，产品涵盖offline、I-line、KrF、 ArF 浸没式等多种工艺类型。新一代超高产能涂胶显影机架构FT Alkaid 具有高产能、高稳定性、高可 靠性、高度集成化和智能化等多项核心优势，机台采用六层对称架构，中间布局高效的晶圆传输模组作 为连接枢纽，并设计高效冷盘塔连接模块，在调度上应用多层并行进片回片模式，可匹配未来更先进的 光刻机产能提升需求。该机型有望明年在客户端看到整体表现。 单片清洗：前道物理清洗设备已达到国际先进水平，成功实现国产替代。 前道化学清洗设备聚焦先进制程，持续推进高温硫酸、超临界等高端机台的验证及产业化，前三季度签 单同比数倍增长。芯源微已成为国内首个通过高温硫酸清洗工艺验证并获得重复订单的企业，超临界机 台已陆续向多家客户发出样机开展工艺验证。战略性新产品前道化学 ...