财务业绩摘要 - 2025年前三季度营业收入80.63亿元，同比增长46.40% [1] - 2025年前三季度净利润12.11亿元，同比增长32.66% [1] - 第三季度单季营业收入31.02亿元，同比增长50.62% [2] - 第三季度单季归属于上市公司股东的净利润5.05亿元，同比增长27.50% [2] 收入构成分析 - 刻蚀设备收入61.01亿元，同比增长38.26%，是公司主要收入来源 [1] - LPCVD和ALD等薄膜设备收入4.03亿元，同比大幅增长1332.69%，呈现爆发式增长 [1] 盈利能力与效率 - 年初至报告期末加权平均净资产收益率为5.87%，较上年同期增加0.91个百分点 [2] - 基本每股收益为1.94元/股，同比增长31.08% [2] - 扣除非经常性损益后的净利润为8.87亿元，同比增长9.05% [2] 现金流与研发投入 - 经营活动产生的现金流量净额为12.98亿元，同比大幅增长385.23% [2] - 研发投入合计25.23亿元，同比增长63.44% [2] - 研发投入占营业收入的比例为31.29%，较上年同期增加3.26个百分点 [2] 资产与股东权益 - 报告期末总资产297.87亿元，较上年度末增长13.61% [2] - 报告期末归属于上市公司股东的所有者权益为214.72亿元，较上年度末增长8.79% [2] 股份减持计划 - 公司回购专用证券账户计划减持不超过209.63万股，占公司总股本的0.33% [3] - 减持期间为2025年11月20日至2026年2月19日 [3] - 减持原因为完成回购股份的后续处置，所得资金将用于补充公司日常经营所需流动资金 [3]