融资计划 - 公司拟通过向特定对象发行A股股票募集资金总额不超过人民币46亿元 [1] - 募集资金净额将投入高端半导体设备产业化基地建设项目、前沿技术研发中心建设项目及补充流动资金 [1] 资金用途 - 高端半导体设备产业化基地建设项目将获得部分募集资金 [1] - 前沿技术研发中心建设项目将获得部分募集资金 [1] - 部分募集资金将用于补充流动资金 [1]