碳化硅设备国产化突破 - 公司在检测、离子注入、激活、氧化、减薄、退火等工艺环节布局产品体系 [1] - 6-8英寸碳化硅外延设备实现国产替代并市占率领先 [1] - 碳化硅设备客户包括瀚天天成、东莞天域、芯联集成、士兰微等行业头部企业 [1] 技术研发与产业化进展 - 基于产业链核心设备的国产化突破开展高标准研发 [1] - 逐步实现产品产业化市场突破 [1]