公司技术应用 - 公司部分刻蚀设备采用臭氧及臭氧水 [1] - 公司部分薄膜沉积设备采用臭氧及臭氧水 [1] - 公司部分热处理设备采用臭氧及臭氧水 [1] - 公司部分湿法设备采用臭氧及臭氧水 [1]