政府采购意向概述 - zycgr发布22项仪器设备采购意向，预算总额达6.59亿元[2][3] - 预计采购时间为2025年11月[3] - 涉及仪器包括X射线衍射仪、X射线光电能谱仪、拉曼光谱仪、辉光放电光谱仪、12英寸快速退火炉、12英寸真空退火炉等[3] 采购项目详情 - 12英寸快速退火炉预算200万元，用于III-V材料金属化、磁光材料退火结晶化及材料氧空位调节[7] - 12英寸真空退火炉预算207万元，用于键合后退火[7] - 12英寸HDP预算1200万元，用于介质薄膜沉积，能够无空洞填充深宽比大于3:1的间隙结构[7] - 12英寸PVD预算3200万元，用于铝互连工艺，金属化电极制备，包含Al/TiN/Ti等材料的沉积[7] - 12英寸CVD(W)预算1900万元，用于接触孔CT的钨填充，无空洞填充深宽比大于3:1[7] - 近服役工况热考核测试系统预算620万元，可模拟热循环、热冲击、CMAS腐蚀等极端服役环境，火焰最高温度不低于2000℃[7] - 单头部燃烧室气动热力试验单元预算5651万元，包含进气系统、排气系统、燃料系统、冷却水系统等[7] - 高时空分辨率动态点火试验单元预算6109万元，包含进气系统、排气系统、燃料系统、冷却水系统等[7] - 宽域高焓多模态燃烧试验单元预算7255万元，包含进气系统、排气系统、燃料系统、冷却水系统等[7] - 燃氢涡轮扇形/全环燃烧室试验单元预算11920万元，包含进气系统、排气系统、燃料系统、冷却水系统等[7] - 多工质流动换热试验单元预算6326万元，包含氢供应系统、空气供应系统、滑油系统、燃料系统等[7] - 氢燃烧宽频多维高动态光学测试装置及溯源单元预算4796万元，包括氢燃烧标定溯源系统、高压燃烧子系统、供气子系统等[7] - 稳动态测试系统预算2811万元，包括稳态测试系统和动态测试系统[7] - 电气控制系统预算3569万元，包括远程、现场控制系统、氢燃料供应系统、台架控制系统等[7] - X射线衍射仪预算356万元，要求测量角度精度至少为0.001°以下，掠入射角范围0.1°-8°[7] - X射线光电能谱仪预算300万元，用于综合表征膜层表面组分以及镜面表面污染物控制，能够表征表面nm级薄膜内污染物组分的分布[7] - 拉曼光谱仪预算300万元，可测直径300mm曲率半径600mm高度约62mm样品，具备无损污染物检测功能[7] - 自由曲面测量机预算196万元，用于部分验收先道粗加工物镜物料，达到300mm以上面形小于15nm的测量精度[7] - 辉光放电光谱仪预算250万元，用于纵向膜层间隙扩散层厚度表征，分辨率达到亚纳米级[7] - GCIB离子源预算180万元，束流强度大于100μA@Ar，用于气体团簇束加工[7] - 超导模组用低温系统预算4390万元，包含氦气循环压缩机、冷箱、液氦杜瓦等装置，2026年10月底交货[7] - 超导模组用超流氦低温系统预算4210万元，包括冷箱、室温减压泵组、分配阀箱等装置，2026年12月底交货[7] 仪器技术简介 - X射线光电能谱仪是一种基于光电效应原理的表面分析仪器，可检测除H、He外所有元素，具有纳米级检测深度和高灵敏度特性[4] - 辉光放电光谱仪是一种用于材料科学领域的元素分析仪器，主要通过辉光放电激发样品表面元素发光，分析元素含量随深度的变化[5]