文章核心观点 - zycgr发布9项仪器设备采购意向，预算总额达2.14亿元，预计采购时间为2025年10月至11月 [2][3] 采购项目概况 - 采购清单涵盖9项高端仪器设备，包括原子层沉积系统、立式化学气相沉积系统(CVD)、热/电子束蒸发设备、原子力显微镜、等离子体增强化学气相沉积系统、自动化抗体蛋白系统等 [3][8][9] - 预算总额为2.14亿元，采购方代号为zycgr，代表中央政府采购平台 [2][10] 主要采购设备详情 - **自动化抗体蛋白系统（一期）**：预算18720万元，用于大规模产出高质量的抗原-抗体相互作用数据集，实现抗体蛋白实验全流程自动化 [9] - **等离子体增强化学气相沉积系统**：预算500万元，基板尺寸8英寸，温度范围350~450℃，气路不少于10路 [9][10] - **立式化学气相沉积系统(CVD)**：预算320万元，采用垂直布局设计，极限真空度10Pa，适用于半导体制造、光电器件等领域 [4][9][10] - **原子层沉积系统**：预算280万元，腔体尺寸8英寸，衬底加热温度50-500℃，薄膜沉积均匀性≤±2% [5][9] - **晶圆临时键合设备**：预算400万元，键合压力20kN，控压精度≤±2%，温度精度≤±1% [9] - **热/电子束蒸发设备**：预算250万元，腔体尺寸8英寸，极限真空≤3×10-5 Pa，最低沉积速率≤0.1Å/s [9] - **原子力显微镜**：预算275万元，YZ扫描范围≥90μm×90μm×10μm，Z方向分辨率≤0.03 nm [9] - **小试试验装置、多塔吸附评价装置设备采购项目**：预算475万元，用于科研实验 [9] - **6000m耐压型多波束测深系统采购项目**：预算190万元，包括水下接收发射换能器单元、甲板单元及安装支架等 [9]