中国科学院上海应用物理研究所仪器设备采购计划 - 研究所近期发布了24项仪器设备采购意向，预算总额达9397万元人民币 [1][2] - 预计采购时间为2025年10月至12月 [2][5] 采购清单中的关键高端设备 - **光刻与微纳加工设备**：计划采购12英寸非接触式光刻机 [2] - **精密光学与检测系统**：包括大口径熔石英透镜加工（预算470万元）、大视场准直仪（预算333万元）、精密动态干涉效率及动态光校检测系统（预算555万元）以及宽谱段窄线宽可调谐系统（预算618万元） [2][6][7] - **真空与薄膜生长设备**：包括真空环模实验舱（预算190万元）、超高真空异质材料分子束沉积工作站（预算1880万元）、异质超材料结构片上沉积生长设备（预算415万元）以及超表面等离激元金属材料沉积生长设备（预算230万元） [7][8][9] - **刻蚀与平坦化设备**：计划采购高深宽比限域结构刻蚀机（预算350万元）和精密界面平坦化加工系统（预算231万元） [9] - **材料生长与制备系统**：包括自激活掺杂异质结碲镉汞材料制备系统（预算870万元）、原位调控近平衡态低缺陷晶体生长系统（预算125万元）以及大尺寸衬底表面辅助处理及晶格重构系统（预算390万元） [8][10] 其他专项测试与表征设备 - **红外与辐射测量设备**：包括高定量化红外辐射传递系统（预算191万元）和发射率测量系统（预算144万元） [6][9] - **超高精度表征设备**：包括超高空间分辨耦合激元表征设备（预算326万元）和外延材料微纳生长无损检测设备（预算150万元） [7][9] - **低温与光电测试设备**：包括低温高灵敏单光子表征设备（预算112万元）、光电红外观测设备（预算122万元）和深低温低背景测试设备（预算105万元） [10] - **信号读出与晶圆处理设备**：包括极低噪声信号读出测试设备（预算172万元）和设备前端模块（预算350万元） [4]