产品发布概述 - 伯东企业正式发布自主研发的高性能紧凑型气体分析系统伯东自制质谱仪 [2][3] - 该系统定位为高端制造与前沿科研领域气体分析的有力工具 [3] 产品性能特点 - 采用先进四极杆质量过滤器与电子轰击离子源确保高质量分离能力与信号稳定性 [4] - 配置法拉第杯与二次电子倍增器双检测器覆盖从常量到痕量的宽动态范围 [4] - 实时采集速率高达1000次读数/秒/amu可精准捕捉快速动态工艺的重要瞬态信号 [4] - 内置智能软件平台简化操作与数据分析流程集成过程逻辑控制器支持本地化安装 [4] - 支持EtherCAT、Modbus、RS232/RS422通信协议确保与现有设备无缝集成 [4][6] 技术规格参数 - 质量范围为1-100/200/300 amu可选分析器类型为四极杆质量过滤器 [6] - 离子源为电子轰击离子源检测器为法拉第杯/二次电子倍增器 [6] - 采用集成紧凑型涡轮分子泵系统采样压力范围1E-5 torr至30 psi [6] 核心应用场景 - 典型应用包括工艺腔体管理、原子层沉积/刻蚀工艺监控、干泵管理 [6] - 适用于高灵敏度泄漏检测及气体输送纯度与杂质分析 [6] - 覆盖先导工艺、先进封装、新型显示材料及超高真空系统等增长最快产业方向 [7] 公司背景与市场地位 - 伯东企业主要从事半导体设备及电子零部件加工销售在国内6个主要城市设有营业据点 [8] - 真空产品事业部已累计为超过10000家企业提供真空服务覆盖工业、半导体等行业 [8] - 公司作为国际知名真空品牌指定授权代理商拥有完整的销售和维修服务体系 [8]