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微波等离子体应用技术
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北京左文科技有限公司 邀请您参加第九届国际碳材料展,展位号N1034
DT新材料· 2025-09-03 23:31
公司概况 - 左文科技是一家专注于微波等离子体应用技术研发及金刚石相关领域应用材料生产的高新技术企业 成立于2018年 [1] - 公司研发团队由海外归国学者组成 涵盖高频、微波与等离子体技术、电气自控技术、机械设计、视觉应用及程序开发、高级管理等多元领域专家 [1] - 核心竞争优势在于领先的MPCVD设备技术及持续的研发创新能力 设备与工艺均处于行业前沿 [1] 技术能力与设备 - 已量产2.45Ghz频段的6kW、10kW、15kW MPCVD设备 以及915Mhz频段的30-100kW大功率设备 [1] - 设备生产运行超过4万小时 经过5年批量生产验证 可量产金刚石单晶/多晶及培育钻石粗坯 [4] - 采用电机及功率自动控制温度 1小时内进入初始设定生长温度并进入生长 [4] - 反应可控且起辉位置固定 功率稳定输出 等离子体远离石英窗口 整体密封性优异 漏率超低 2小时内压升不超过5pa [5] - 设备采用不锈钢台及铜散热底盘耐高温 铜底盘沉积物易清理 水冷散热设计最大散热功率达12kW [7] - 具备高可靠性、高实验重复性、高耐久性 采用上掀盖设计易于清洗及快速二次生长 [7] - 多晶生长最大支持10英寸直径生长台 单晶生长最大支持6英寸直径生长台 [7] 产品与应用领域 - 已开发适用于刀具、热沉片、光学窗口、半导体材料及培育钻石的专用工艺 [2] - 产品涵盖珠宝级钻石(包括成熟可量产的白色及彩色大尺寸钻石)、功率半导体、复合热沉片、精密刀具刀头、高纯度电化学电极、红外光学窗口、量子传感器/NV色心器件、高增益激光器、纳米金刚石材料及第四代半导体材料 [3][5] - 在深圳设立生产基地 专注于量产设备运行及大尺寸人造金刚石产品制造 覆盖工业应用及培育钻石领域 [2] 行业活动 - 公司将参展2025年12月9-11日在上海新国际博览中心举办的第九届国际碳材料大会暨产业展览会 展位号N1034 [12][17] - 展会覆盖碳材料全产业链 包括金刚石、培育钻石、MPCVD设备、分析仪器等半导体碳材料相关领域 [13]