半导体主题ETF市场表现 - 多只半导体主题ETF显著上涨，其中科创半导体ETF(588170)涨3.36%，科创半导体ETF鹏华(589020)涨3.32%，科创半导体设备ETF(588710)涨3.19% [1] - 半导体设备ETF(159516)成交额达3.06亿，换手率为5.08%，五日涨幅为4.42% [2] - 除半导体外，油气资源ETF(563150)亦上涨2.23%，但成交额相对较小，为154.32万 [2] 半导体产业链个股表现 - 第三代半导体板块盘中持续拉升，乾照光电涨停20%，友阿股份涨停 [3] - 亚光科技、微导纳米等公司股价涨幅超过10% [3] - 板块整体走强，显示市场对半导体产业链的关注度提升 [3]