全球MEMS市场概况 - 2024年大中华区MEMS产业全球营收达到17亿美元，同比增长8.4%，出货量约54亿颗 [2] - 预计2024-2030年MEMS市场的营收复合年增长率将达到3.6%，到2030年销量将达到66亿件，营收将达到20亿美元 [2] - 中国厂商在“AI+IoT+汽车电子”三重浪潮叠加下迎来发展“窗口期” [2] 中国MEMS厂商市场表现与战略 - 士兰微、瑞声科技（AAC）、歌尔微（Goermicro）、明皜传感（MiraMEMS）及敏芯股份（MEMSensing）等中国厂商凭借性能、可靠性与成本平衡优势，占据了主流可穿戴设备供应链的重要位置 [4][5] - 歌尔微2024年实现营业收入45亿余元，是全球第五大、中国第一大智能传感交互解决方案提供商 [8] - 士兰微2025年上半年MEMS传感器产品营业收入同比增加10%，其加速度传感器国内市场占有率保持在20%-30%，六轴惯性传感器（IMU）上半年出货量增加了2倍以上 [8] - 瑞声科技2025年上半年传感器及半导体业务收入为人民币6.08亿元，同比增长56.2% [8] - 敏芯股份2025年上半年度营业收入创历史同期新高，达到3亿元，同比增加47.82% [8] - 中国厂商正从消费电子向汽车与工业等高价值领域拓展，例如士兰微计划于2025年推出多款车用MEMS传感器产品，明皜传感和敏芯微也已进军汽车领域 [6] MEMS技术应用与市场拓展 - 消费电子仍是全球MEMS最大单一应用板块，尤其在TWS耳机、智能手表、AR眼镜等可穿戴设备中，惯性传感器、麦克风与压力传感器需求持续旺盛 [4] - MEMS声学传感器作为AI语音交互技术的第一输入口，将迎来技术指标升级，更好的信噪比是关键规格升级要求 [6] - 汽车与工业市场强调高可靠性与长期稳定性，安全相关应用目前由Bosch、NXP、STMicroelectronics等欧美厂商主导，但智能座舱普及和新能源汽车发展为中国厂商带来增量空间 [7] - 医疗市场成为MEMS增长最快板块之一，尤其在OTC助听器市场放开背景下，MEMS麦克风、微型扬声器、运动传感器迎来新蓝海 [8] - 通信与AI基础设施带动MEMS新需求，光通信系统中的MEMS光开关与微镜用于高速信号切换，市场前景广阔 [8][9] MEMS器件发展现状与趋势 - MEMS器件种类丰富，包括惯性类、声学类、环境类、光学类、医疗类、执行与能量类，应用正从消费电子向汽车、工业、医疗与AI基础设施全面延展 [11][12] - 中国MEMS麦克风产业几乎实现全链条国产化，在声学性能、信噪比与功耗控制上已接近国际一线水准 [12] - 国内在陀螺仪与IMU领域仍落后于欧洲厂商，但近年来在温漂控制、集成算法和测试标定方面进步明显，预计国产IMU将在3-5年内完成性能代际跃升 [13] - 光学与微镜方面，数据中心光通信成为新舞台，中国厂商正通过“硅光子+MEMS”技术路线切入光开关与波导调制器市场 [13] - “智能MEMS”成为未来十年新高地，国际厂商已推出带嵌入式AI的智能传感器，中国厂商下一阶段战略重点将是智能化集成 [13] 中国MEMS制造能力提升 - 2024年大中华区MEMS代工营收同比增长14.3%，制造端已成为产业增长的新引擎 [17] - 国内MEMS代工产线布局初具规模，形成以芯联集成、赛微电子、华润微、广州增芯、士兰微、华鑫微纳、积塔半导体为代表的核心阵列 [17] - 赛微电子全资子公司瑞典Silex曾在2019-2024年全球MEMS纯代工厂商排名中位居第一，其北京产线（赛莱克斯北京）已实现1.5万片/月产能，计划提升至3万片/月 [17] - 芯联集成已跻身全球MEMS代工“第一梯队”，位列全球专属晶圆代工榜单前十，居中国大陆第四 [18] - 华润微在MEMS智能传感器领域实现多项技术突破，例如采用异构集成技术制造MEMS高端三层结构硅麦麦克风传感器，信噪比达到70dB [18] - MEMS制造商开始从8英寸晶圆生产线过渡到12英寸晶圆生产线以降低成本、提高产量，例如广州增芯12英寸晶圆制造产线项目已于2024年6月投产启动 [19][21] - 领先的MEMS厂商正加大在制造端的投资，逐步实现“设计-制造-封测”一体化，例如睿创微纳、士兰微、奥松半导体等正自建晶圆线 [21][22]