记者丨赵云帆见习记者林健民 编辑丨张伟贤 据中国政府采购网公示，12月25日，上海微电子装备（集团）股份有限公司中标zycgr22011903采购步进扫描式光刻机项目，设备数量为一台，成交金额 10999.985万元（约1.1亿元）。 公开资料显示，上海微电子隶属上海电气集团，为中国半导体装备领域的核心企业，尤其在高端光刻机的研发与制造方面处于国内领先地位。今年5 月，上海微电子已经官宣实现90nm ArF光刻机实现量产。 首先，此次的货物型号为SSC800/10，其中"SSC"为首次公开的光刻机型号代号。 代号中，"SS"或代表"步进扫描式"，为当前主流精密制程的半导体极紫外光（EUV）、深紫外光（DUV）光刻机的机械工作方案。目前上海微电子量产 的光刻机，包括前道制造、浸没式光刻机"SSA""SSX""SSB"等系列。 从采购方式来看，"单一来源采购"或表示该项目的先进性。 | T | 上海微电子装备（集团） 股份有 限公司 | 步进扫描式光 刻机 | 牌 SMEE | SSC800/10 | 를 | 109,999,850 | | --- | --- | --- | --- | --- | --- | ...