核心观点 - 华海清科自主研发的12英寸减薄抛光一体机Versatile-GP300累计出机量突破20台,标志着国产高端半导体装备在3D IC、先进封装等领域实现了从技术突破到规模化应用的重要跨越 [1] 产品里程碑与市场表现 - 公司12英寸减薄抛光一体机Versatile-GP300累计出机量突破20台 [1] - 该装备自2021年首台出机,2023年实现量产机台交付,至今累计出机量突破20台 [1] - 产品已获得多家头部企业重复订单,在客户端产线稳定运行,累计出货晶圆超20万片 [2] - 产品凭借优异性能获得市场高度认可,其累计出机突破20台是客户信赖与市场选择的直接体现 [2] 技术创新与产品优势 - 装备采用颠覆性创新设计,将磨削减薄、化学机械抛光与清洗模块一体化集成 [1] - 实现了从装备结构、控制系统到工艺集成的全方位突破,显著提升了减薄精度与工艺稳定性 [1] - 解决了复杂翘曲形态晶圆传输系统、跨洁净度等级清洗等一系列难题 [1] - 产品自面世以来荣获多项殊荣,并在今年成功斩获好设计金奖 [2] 公司战略与业务布局 - 公司以此次里程碑为新起点,继续深耕“装备+服务”平台化发展战略 [2] - 公司已建立起覆盖化学机械抛光、离子注入、减薄、划切、边缘抛光、湿法、晶圆再生及耗材维保服务等高端半导体装备与服务的多元化产品矩阵 [2] - 未来公司将坚持以市场需求为导向,持续加大研发投入,致力于为半导体产业提供更多先进的高端装备与工艺成套解决方案 [2] 行业意义与影响 - 该装备的发展里程碑体现了国产高端半导体装备在3D IC、先进封装等关键工艺领域实现了从技术突破到规模化应用的重要跨越 [1] - 为产业发展注入强劲动力,并为保障产业链安全与高质量发展贡献力量 [1][2]
华海清科:12英寸减薄抛光一体机出机量突破20台