光刻机概念板块市场表现 - 截至12月9日收盘，光刻机概念板块整体上涨0.77%，在概念板块涨幅榜中排名第9 [1] - 板块内个股表现分化，24只股票上涨，其中中瓷电子涨停，腾景科技、炬光科技、联合化学分别上涨10.54%、6.13%、5.34% [1] - 板块内跌幅居前的股票包括华特气体、美埃科技、永新光学，分别下跌3.09%、2.35%、2.17% [1] 板块资金流向 - 光刻机概念板块整体呈现主力资金净流出，净流出额为0.39亿元 [2] - 板块内20只股票获得主力资金净流入，其中5只股票净流入额超过3000万元 [2] - 腾景科技主力资金净流入居首，达3.55亿元，中瓷电子、赛微电子、芯碁微装紧随其后，分别净流入7878.82万元、7007.35万元、5418.82万元 [2] 个股资金流入详情 - 中瓷电子主力资金净流入率最高，达41.62%，腾景科技和华亚智能的净流入率分别为9.74%和9.21% [3] - 主力资金净流入额较高的股票还包括凯美特气（4450.06万元）、百傲化学（2603.53万元）、富创精密（1993.66万元） [3][4] - 广立微、茂莱光学、洪田股份、晶方科技、联合化学等股票也录得主力资金净流入，金额在853.90万元至1650.64万元之间 [4] 个股资金流出详情 - 板块内多只股票遭遇主力资金净流出，其中泰晶科技净流出额最大，达3.26亿元，净流出率为-20.24% [5] - 江丰电子、大族激光、电科数字、张江高科净流出额也较大，分别为7734.83万元、5285.19万元、3602.26万元、4446.92万元 [5] - 净流出率较高的股票包括联合光电（-20.46%）、*ST和科（-15.01%）、电科数字（-16.85%）、江丰电子（-13.40%）和鸿利智汇（-11.56%） [4][5]