公司产品与技术突破 - 上海芯上微装科技股份有限公司自主研发的首台350nm步进光刻机（AST6200）正式完成出厂调试与验收并发往客户现场 [1] - AST6200光刻机是高性能、高可靠性、全自主可控的步进式光刻设备，专为功率、射频、光电子及Micro LED等先进制造场景定制 [1] - 该产品基于公司多年光学系统设计、精密运动控制与半导体工艺理解积淀 [1] 行业意义与公司战略 - 此次交付标志着我国在高端半导体光刻设备领域再次实现关键突破 [1] - 首台AST6200的发运只是一个开始，公司将以此为契机与产业链上下游伙伴紧密协作 [3] - 公司计划加速推进国产光刻设备在更多应用场景的落地与验证 [3]