光刻机概念板块表现 - 光刻机概念板块整体上涨3.40%，位居概念板块涨幅第6位，板块内34只股票上涨 [1] - 联合化学和江丰电子以20%涨幅涨停，张江高科和洪田股份等股票涨停，富创精密、中润光学、华特气体分别上涨11.32%、8.31%、6.41% [1] - 海立股份、腾景科技、大族激光跌幅居前，分别下跌7.00%、4.47%、2.54% [1] 相关概念板块涨跌幅 - 中芯国际概念涨幅最高达5.41%，国家大基金持股、BC电池、存储芯片、光刻胶分别上涨4.83%、4.30%、4.18%、4.06% [2] - 中韩自贸区、抽水蓄能、同花顺中特估100涨幅较低，分别为0.07%、0.12%、0.32% [2] 资金流动情况 - 光刻机概念板块获主力资金净流入5.83亿元，29只股票获主力资金净流入，14只股票净流入超5000万元 [2] - 江丰电子主力资金净流入5.45亿元居首，晶方科技、洪田股份、赛微电子分别净流入2.74亿元、1.53亿元、1.02亿元 [2] - 洪田股份、联合化学、华亚智能主力资金净流入率最高，分别为26.35%、18.30%、14.67% [3] 个股资金流入详情 - 江丰电子主力资金净流入5.45亿元，换手率18.27%，净流入比率14.50% [3] - 晶方科技主力资金净流入2.74亿元，换手率15.47%，净流入比率8.27% [3] - 洪田股份主力资金净流入1.53亿元，换手率5.46%，净流入比率26.35% [3] - 赛微电子主力资金净流入1.02亿元，换手率11.70%，净流入比率5.52% [3] 个股资金流出情况 - 海立股份主力资金净流出3.27亿元，净流出比率8.96% [5] - 大族激光主力资金净流出1.98亿元，净流出比率6.71% [5] - 波长光电主力资金净流出1.96亿元，换手率54.84%，净流出比率6.08% [5] - 凯美特气主力资金净流出3.05亿元，换手率33.77%，净流出比率5.02% [5]