光刻机概念板块市场表现 - 截至9月23日收盘 光刻机概念板块整体上涨0.72% 位居概念板块涨幅第3名 [1] - 板块内19只个股上涨 波长光电以20%涨幅涨停 张江高科和凯美特气同样涨停 海立股份上涨6.32% 广立微上涨5.03% 珂玛科技上涨4.86% [1] - 跌幅居前个股包括赛微电子下跌4.87% 美埃科技下跌4.00% 苏大维格下跌3.71% [1] 板块资金流向分析 - 光刻机概念板块整体遭遇主力资金净流出13.84亿元 [2] - 板块内仅9只个股获得主力资金净流入 其中5只个股净流入超千万元 [2] - 波长光电主力资金净流入9482.10万元居首 芯碁微装净流入7858.48万元 华辰装备净流入4188.70万元 富乐德净流入3701.33万元 [2] 个股资金流入比率 - 富乐德主力资金净流入率达6.78% 华辰装备达6.09% 芯碁微装达5.32% [3] - 波长光电虽然资金流入额最高 但净流入比率仅为3.57% [3] - 先锋精科主力资金净流入1693.09万元 净流入比率5.11% [3] 资金流出显著个股 - 凯美特气尽管涨停 但主力资金净流出达3.02亿元 净流出比率-5.84% [5] - 赛微电子主力资金净流出2.30亿元 净流出比率-10.68% [5] - 苏大维格主力资金净流出1.08亿元 净流出比率-6.33% [5] - 炬光科技主力资金净流出1.57亿元 净流出比率-11.67% [5] 板块相对表现 - 在当日概念板块中 中芯国际概念涨幅1.22%居首 国家大基金持股涨幅1.08%位列第二 [2] - 光刻胶概念下跌0.08% 表现弱于光刻机概念 [2] - 华为盘古概念跌幅最大达-3.69% MLOps概念下跌-3.31% [2]