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龙图光罩(688721.SH):公司KrF-PSM和ArF-PSM陆续送往部分客户进行测试验证

产能扩张与项目进展 - 珠海项目2025年上半年顺利投产 二季度已开始小规模量产 预计2025年下半年逐步放量 [1] - 已完成40nm生产设备的布局 [1] 产品技术突破 - 第三代掩模版PSM产品取得显著进展 KrF-PSM和ArF-PSM陆续送客户测试验证 [1] - 90nm节点产品成功完成从研发到量产的跨越 65nm产品已开始送样验证 [1] 战略发展路径 - 通过高端制程突破+客户结构升级双引擎驱动业绩增长 [1] - 高端制程影响力进一步增强 覆盖的下游领域更加丰富 [1]