技术研发进展 - 公司湿法设备在28纳米节点已完成全部开发且全工艺机台均获订单 [1] - 在更先进制程节点已取得部分工艺订单 尤其在高温硫酸、FINETCH、单片磷酸等被国际厂商垄断的机台领域 [1] - 公司设备交付和验证进度在国内处于领先地位 [1]