光刻机概念板块市场表现 - 光刻机概念板块单日上涨2.09% 位居所有概念板块涨幅首位[1][2] - 板块内27只个股上涨 凯美特气、永新光学、海立股份涨停 腾景科技、波长光电、华亚智能分别上涨14.94%、14.60%、6.15%[1] - 广立微、芯碁微装、同飞股份跌幅居前 分别下跌4.44%、3.54%、2.40%[1] 板块资金流向 - 光刻机概念获主力资金净流入16.87亿元 21只个股获净流入[2] - 6只个股主力资金净流入超5000万元 海立股份净流入7.92亿元居首 凯美特气、波长光电、新莱应材分别净流入6.70亿元、2.09亿元、9907.64万元[2] - 凯美特气、海立股份、波长光电主力资金净流入率最高 分别为24.35%、23.47%、7.99%[3] 个股资金流量明细 - 海立股份涨停9.98% 换手率17.38% 主力净流入7.92亿元 净流入率23.47%[3] - 凯美特气涨停10.02% 换手率19.85% 主力净流入6.70亿元 净流入率24.35%[3] - 波长光电大涨14.60% 换手率53.62% 主力净流入2.09亿元 净流入率7.99%[3] - 新莱应材上涨4.87% 主力净流入9907.64万元 炬光科技下跌1.09%但仍获净流入7477.53万元[3] - 蓝英装备上涨3.11% 获主力净流入5852.47万元 净流入率6.80%[3] 资金流出个股情况 - 久日新材主力净流出1544.52万元 净流出率-10.43%[5] - 同飞股份下跌2.40% 主力净流出3725.31万元 净流出率-9.90%[5] - 华亚智能虽上涨6.15% 但主力净流出4729.95万元 净流出率-9.41%[5] - 江丰电子下跌0.99% 主力净流出8363.51万元 净流出率-8.01%[5]