光刻机概念板块表现 - 截至8月21日收盘，光刻机概念板块下跌2.11%，位居概念板块跌幅榜前列 [1] - 板块内仅7只个股上涨，涨幅居前个股包括ST和科上涨5.01%、思泰克上涨3.01%、华亚智能上涨1.99% [1] - 跌幅居前个股包括同飞股份下跌10.48%、腾景科技下跌8.15%、海立股份下跌5.82% [1][2] 板块资金流向 - 光刻机概念板块整体获主力资金净流出16.47亿元 [2] - 31只个股遭遇主力资金净流出，其中6只个股净流出超亿元 [2] - 张江高科主力资金净流出2.67亿元居首，大族激光净流出2.66亿元，海立股份净流出1.46亿元，赛微电子净流出1.32亿元 [2] - 主力资金净流入居前个股包括苏大维格净流入3179.80万元、泰晶科技净流入2851.29万元、电科数字净流入1920.85万元 [2][3] 个股交易数据 - 换手率较高个股包括海立股份14.07%、赛微电子15.13%、波长光电15.74%、思泰克19.21% [2][3] - 资金流出榜显示晶方科技主力资金净流出12231.64万元，新莱应材净流出11476.79万元，腾景科技净流出9886.20万元 [2] - 部分个股虽股价上涨但主力资金仍呈净流出状态，如ST和科上涨5.01%但主力资金净流出734.26万元 [3]