光刻机概念板块市场表现 - 截至8月13日收盘，光刻机概念板块上涨2.49%，位居概念板块涨幅第9位 [1] - 板块内29只个股上涨，中船特气涨停（20%），凯美特气、海立股份、洪田股份等涨停，华特气体、百傲化学、中润光学涨幅居前，分别上涨12.56%、5.01%、4.38% [1] - 跌幅居前个股包括炬光科技、久日新材、张江高科，分别下跌3.65%、1.91%、1.70% [1] 板块资金流向 - 光刻机概念板块整体获主力资金净流出4.79亿元 [2] - 17只个股获主力资金净流入，其中5只净流入超3000万元 [2] - 大族激光净流入2.55亿元居首，中船特气、凯美特气、富乐德分别净流入1.60亿元、1.28亿元、7956.46万元 [2] - 凯美特气、中船特气、永新光学主力资金净流入率居前，分别为15.64%、11.67%、8.76% [3] 个股资金数据明细 - 大族激光换手率11.75%，主力资金净流入率6.47% [3] - 中船特气换手率21.41%，主力资金净流入率11.67% [3] - 凯美特气换手率7.97%，主力资金净流入率15.64% [3] - 资金净流出显著个股包括张江高科（净流出4.76亿元，净流入率-12.89%）、海立股份（净流出3.41亿元，净流入率-7.86%）、赛微电子（净流出6926.46万元，净流入率-10.41%） [4][5]