根据您的要求，我对提供的所有关键点进行了严格的筛选和归类。归类原则如下： 1. 财务数据关键指标变化：仅包含收入、利润、成本、费用等核心财务指标的同比变化。 2. 各条业务线表现：包含半导体设备、泛半导体行业等业务线的收入、成本、订单及产能情况。 3. 管理层讨论和指引：包含公司对未来订单、产能的规划目标。 4. 公司治理与合规：包含分红、担保、资金占用、董事会运作、内部控制、审计意见等治理与合规性声明。 5. 研发投入与人员：包含研发投入金额、占比、资本化情况以及研发人员的数量和结构。 6. 资产与负债状况：包含预付款项、存货、固定资产、短期借款、应付账款等资产和负债项目的重大变化。 7. 股权激励：包含股权激励计划的具体细节、授予情况和高管持股变动。 8. 行业与市场数据：包含中国及全球半导体行业的市场规模、销售、投资等外部数据。 9. 高管与董事薪酬及持股：包含董事、监事及高级管理人员的持股变动和报酬情况。 10. 其他重要事项：包含董事会审议通过的重大议案、员工构成、环保与社会责任等未在上述主题覆盖的重要内容。 以下是归类结果： 财务数据关键指标变化：收入与利润 - 公司2021年营业收入为20.84亿元人民币，同比增长49.18%[27] - 归属于上市公司股东的净利润为2.82亿元人民币，同比增长8.12%[27] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润为1.62亿元人民币，同比增长46.57%[27] - 公司2021年实现营业收入20.84亿元，同比增长49.18%[39] - 归属于母公司所有者净利润2.82亿元，同比增长8.12%[39] - 公司2021年实现营业收入20.84亿元，同比增长49.18%[75] - 归属于母公司所有者净利润为2.82亿元，同比增长8.12%[75] - 归母扣非后净利润为1.62亿元，同比增长46.57%[75] - 营业收入2,084,097,721.32元人民币，同比增长49.18%[76][79] - 归属于上市公司股东的净资产为40.66亿元人民币，同比增长29.38%[27] - 总资产达到79.33亿元人民币，同比增长33.18%[27] - 公司总资产79.33亿元，同比增长33.18%[39] - 公司总资产达79.33亿元，同比增长33.18%[75] - 基本每股收益为0.891元/股，同比下降12.04%[27] - 加权平均净资产收益率为8.10%，同比下降7.93个百分点[27] - 经营活动产生的现金流量净额为-1.91亿元人民币，较上年同期改善[27] - 经营活动产生的现金流量净额-190,723,819.30元人民币，较上年同期改善[76][79] 财务数据关键指标变化：成本与费用 - 营业成本1,329,888,561.03元人民币，同比增长50.60%[76][79] - 半导体设备业务成本473,367,154.39元人民币，同比增长209.77%[81][85] - 财务费用78,544,855.75元人民币，同比增长2.90%[76][79] 各条业务线表现 - 公司2021年新增订单总额32.30亿元，同比增长64.80%[39] - 半导体设备新增订单11.20亿元，同比增长111.32%[39] - 公司单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过97台[41] - 12英寸湿法设备新增订单金额超过6亿元[41] - 半导体设备业务收入701,116,125.87元人民币，同比增长222.06%[81] - 泛半导体行业收入1,572,009,057.98元人民币，同比增长75.90%[81] - 前五名客户销售额859,469,700元人民币，占年度销售总额41.28%[89] - 公司每年交付各类工艺支持设备超过5000台套[56] - 合肥晶圆再生项目年产能达168万片晶圆再生和120万件半导体零部件再生[67] - 公司湿法设备可覆盖28纳米制程节点全部湿法工艺[71] - 公司高纯工艺系统可实现ppb级不纯物控制[74] 管理层讨论和指引 - 公司2022年新增订单目标超过40亿元，其中湿法设备订单目标超过20亿元[127] - 2022年单片设备预计占新增订单60%[127] - 公司计划2022年将湿法设备产能提升至2021年的一倍[128] - 公司2017-2022年销售订单从3亿增长至32亿[127] 公司治理与合规 - 公司2021年度拟不进行现金分红、送股、资本公积金转增股本[6] - 公司报告期内不存在被控股股东及其关联方非经营性占用资金情况[8] - 公司报告期内不存在违反规定决策程序对外提供担保的情况[8] - 公司报告期内不存在半数以上董事无法保证年度报告真实性、准确性和完整性的情况[8] - 公司报告期内不存在对公司生产经营产生实质性影响的特别重大风险[8] - 公司审计报告由众华会计师事务所（特殊普通合伙）出具标准无保留意见[5] - 公司全体董事出席董事会会议[5] - 公司负责人蒋渊、主管会计工作负责人陆磊保证财务报告真实、准确、完整[5] - 公司治理架构符合《公司法》、《证券法》及证监会相关规定，无重大差异[137] - 公司2021年共召开1次年度股东大会和5次临时股东大会，所有议案均获表决通过[139] - 公司内部控制审计获标准无保留意见[189] - 实际控制人及关联方承诺减少关联交易并履行赔偿义务[197] - 公司承诺关联交易价格按无关联第三方价格确定，保证公允性[197] - 蒋渊、陆龙英、尚纯投资承诺在持股期间不从事与上市公司相同或竞争业务[200] - 赵浩及一致行动人承诺交易完成后不从事与上市公司竞争业务[200] - 所有承诺自2018年9月25日起长期有效[200] 研发投入与人员 - 研发投入总额302,291,088.79元人民币，占营业收入比例14.50%[90] - 研发投入资本化比例52.23%[90] - 研发人员数量为240人，占公司总人数比例为16.32%[91] - 研发人员学历结构：博士研究生6人，硕士研究生30人，本科138人，专科54人，高中及以下12人[94] - 研发人员年龄结构：30岁以下90人，30-40岁97人，40-50岁41人，50-60岁10人，60岁及以上2人[94] - 公司专利申请总数551项，其中发明专利250项，已授权专利322项[70] 资产与负债状况 - 预付款项较上期增长143.16%至4.827亿元[95] - 存货较上期增长48.90%至11.829亿元[95] - 固定资产较上期增长83.93%至9.749亿元[97] - 短期借款较上期增长33.82%至12.831亿元[97] - 应付账款较上期增长52.55%至5.269亿元[97] - 合同负债较上期增长40.32%至2.396亿元[97] - 境外资产规模为2.862亿元，占总资产比例3.61%[100] 股权激励 - 财务总监陆磊持股从100,000股增加至351,000股，通过股权激励增加251,000股[142] - 副总经理沈一林持股从90,000股增加至341,000股，通过股权激励增加251,000股[142] - 董事会秘书柴心明持股从21,000股增加至75,000股，通过股权激励增加54,000股[142] - 第三期股权激励计划授予股票期权与限制性股票，其中新授予高管股票期权300,000股[180][183] - 副总经理陆磊报告期末持有股票期权269,000股，限制性股票200,000股[184] - 副总经理沈一林报告期末持有股票期权269,000股，限制性股票200,000股[184] - 董事会秘书柴心明报告期末持有股票期权56,000股[184] - 股票期权行权价格为18.4244元/股，限制性股票授予价格为17.76元/股[184] - 报告期末公司股票市价为48.15元/股[184] 行业与市场数据 - 2021年中国集成电路进口数量为6,354.81亿个，同比增长16.92%[101] - 2021年中国集成电路出口数量为3,107亿个，同比增长19.59%[101] - 2021年中国集成电路产业销售额为10,458.3亿元，同比增长18.2%[101] - 2021年中国集成电路设计业销售额为4,519亿元，同比增长19.6%[101] - 2021年中国集成电路制造业销售额为3,176.3亿元，同比增长24.1%[101] - 2021年中国集成电路封装测试业销售额为2,763亿元，同比增长10.1%[101] - 2018年全球半导体清洗设备市场规模为34.17亿美元[102][118] - 2019年全球半导体清洗设备市场规模为30.49亿美元[102][118] - 2020年全球半导体清洗设备市场规模为25.39亿美元[102][118] - 2024年预计全球半导体清洗设备行业规模将达到31.93亿美元[104][118] - 2022年全球晶圆厂设备支出预计突破1000亿美元[122] - 2022年全球半导体产业资本投资预计增加24%至1904亿美元[122] - 中国半导体设备市场需求占全球近30%[122] - 中国晶圆自给率目标2025年达50%[122] - 全球半导体清洗设备市场日本厂商Screen占比约50%[122] - 2019-2022年全球半导体资本投资增长86%[122] - 前道工艺设备投资占半导体设备总投资的80%以上[51] 高管与董事薪酬及持股 - 董事长兼总经理蒋渊持股70,802,240股，年度内无变动，税前报酬总额28.6万元[142] - 董事兼副总经理赵浩持股从13,715,640股减少至10,542,620股，减持3,173,020股，税前报酬总额33.01万元[142] - 财务总监陆磊税前报酬总额65.32万元[142] - 副总经理沈一林税前报酬总额65.02万元[142] - 董事会秘书柴心明税前报酬总额15.5万元[142] - 监事蒋善清持股从60,000股增加至67,500股，通过二级市场买入增加7,500股，税前报酬总额18.47万元[142] - 董事兼研发总监吴海华持股5,430,000股，年度内无变动，税前报酬总额16.8万元[142] - 独立董事周国华和施振业持股均为0，税前报酬总额均为12万元[142] - 报告期末全体董事、监事和高级管理人员实际获得的报酬合计为302.35万元[152] - 高级管理人员薪酬与绩效挂钩，其中柴心明获得30,000单位薪酬[187] - 公司对高级管理人员考核坚持收入与责任、绩效挂钩[187] 其他重要事项 - 第四季度营业收入最高，达8.02亿元人民币[30] - 计入当期损益的政府补助为8405.56万元人民币[34] - 其他非流动金融资产当期公允价值变动114,988,197.08元，对当期利润影响23,827,801.11元[37] - 非经常性损益项目中其他营业外收入和支出为-85,557.17元，另有641,296.24元项目[36] - 公司拟发行可转债总额不超过11亿元用于研发及生产项目[43] - 公司报告期指2021年1月1日至2021年12月31日[16] - 公司注册地址为上海市闵行区紫海路170号[20] - 公司于2021年1月4日董事会审议通过提前赎回"至纯转债"的议案[153] - 公司于2021年1月12日董事会审议通过调整第三期股权激励计划相关事项及首次向激励对象授予股票期权与限制性股票的议案[153] - 公司于2021年1月29日董事会审议通过出售上海江尚实业有限公司49%股权暨关联交易的议案[157] - 公司于2021年8月24日董事会审议通过公开发行A股可转换公司债券方案及募集资金使用可行性分析报告[157] - 公司于2021年10月18日董事会审议通过控股子公司增资扩股暨引入战略投资者的议案[157] - 公司于2021年12月15日董事会审议通过部分募投项目延期及单个项目节余募集资金永久补流的议案[159] - 公司于2021年12月28日董事会审议通过参与投资私募基金暨关联交易的议案[159] - 公司年内召开董事会会议次数为17次，其中现场会议1次，通讯方式召开1次，现场结合通讯方式召开15次[160] - 提名委员会召开1次会议，审议通过董事会换届选举议案[163][164] - 审计委员会召开6次会议，审议通过年度报告、关联交易、授信担保等多项议案[165] - 薪酬与考核委员会召开2次会议，审议通过股权激励行权价格调整及行权条件成就等议案[166] - 战略委员会召开1次会议，审议通过2021年经营计划及发展战略[168] - 公司员工总数1,471人，其中母公司员工69人，主要子公司员工1,402人[170] - 员工专业构成：生产人员442人，销售人员95人，技术人员781人，财务人员52人，行政人员83人，专业管理人员18人[170] - 员工教育程度：本科及以上678人，专科494人，专科以下299人[170] - 劳务外包工时总数710,820小时，劳务外包支付报酬总额33,151,982元[174] - 公司为员工提供基本工资、绩效奖金、津补贴及五险一金等多元化薪酬福利[173] - 2020年度现金分红总额为52,121,141.46元，占归属于上市公司股东净利润的20.00%[175] - 现金分红调整后为每10股派发现金红利1.6363元（含税）[175] - 因股权激励行权新增股份402,000股，总股本相应增加[175] - 公司未分配利润将用于半导体设备研发及高纯工艺系统业务发展[179] - 公司未发生环境污染事件，主要污染物按标准排放[192] - 公司推行绿色生产，总部大楼采用LED节能照明并设置30立方米雨水收集系统[193] - 公司利用楼顶建设分布式光伏发电项目，装机容量560KWp[193] - 公司董事周国华兼任宁波康强电子监事会主席[150] - 公司董事周国华兼任宁波中百独立董事[150] - 公司董事周国华兼任大恒新纪元独立董事[150] - 公司董事周国华任金字火腿董事、副总经理、财务总监[150] - 公司董事顾卫平任上海国盛资本董事总经理[150] - 公司董事顾卫平任上海复深蓝独立董事[150] - 公司董事顾卫平任南通海星电子独立董事[150] - 公司董事赵浩任平湖波科激光董事长[150] - 公司董事赵浩任迈思沃精密系统董事长[150] - 公司合计数据为90,218,880和87,609,360[145]