收入和利润（同比环比） - 营业收入20.84亿元人民币，同比增长49.18%[27] - 归属于上市公司股东的净利润2.82亿元人民币，同比增长8.12%[27] - 归属于上市公司股东的扣除非经常性损益的净利润1.62亿元人民币，同比增长46.57%[27] - 公司2021年营业收入20.84亿元，同比增长49.18%[39] - 公司2021年归属于母公司所有者净利润2.82亿元，同比增长8.12%[39] - 营业收入同比增长49.18%至20.84亿元人民币[76][79] - 公司2021年营业收入20.84亿元同比增长49.18%[75] - 归属于母公司净利润2.82亿元同比增长8.12%[75] - 归母扣非净利润1.62亿元同比增长46.57%[75] - 第四季度营业收入8.02亿元人民币，为全年最高季度收入[30] 成本和费用（同比环比） - 营业成本同比增长50.60%至13.30亿元人民币[76][79] - 研发费用同比增长51.18%至1.44亿元人民币[76][79] - 半导体设备成本同比激增209.77%至4.73亿元人民币[81][85] 各业务线表现 - 公司主要业务涵盖高纯工艺系统、半导体清洗设备及先进制程相关设备[16] - 公司业务涉及泛半导体领域包括集成电路、平板显示、光伏、LED等[16] - 公司业务覆盖生物制药等高纯工艺应用领域[16] - 公司产品包括高纯介质控制系统和高洁净材料[16] - 公司技术涉及CVD、CIP、CMP、EP等半导体制造工艺[16] - 半导体设备业务收入同比大幅增长222.06%至7.01亿元人民币[81] - 泛半导体行业收入同比增长75.90%至15.72亿元人民币[81] - 高纯工艺集成系统毛利率提升2.95个百分点至34.71%[81] - 半导体湿法设备新增订单11.20亿元，同比增长111.32%[39] - 12英寸湿法设备新增订单金额超过6亿元，其中单片式设备新增订单金额超过3.8亿元[41] - 公司单片湿法设备和槽式湿法设备全年出机超过97台[41] - 每年交付各类工艺支持性设备超过5000台套[56] - 晶圆再生项目年产能达168万片晶圆和120万件零部件[67] - 公司12寸晶圆再生项目致力于开发低损耗晶圆再生流程，深入改善湿法工艺专用设备以应对节能减排挑战[187] 各地区表现 - 华东地区收入同比增长110.67%至14.98亿元人民币[81] 管理层讨论和指引 - 公司2021年新增订单总额32.30亿元，同比增长64.80%[39] - 公司2022年新增订单目标超40亿元，其中湿法设备订单目标超20亿元[120] - 公司2022年将重点满足先进工艺产线中对前驱体供应设备及研磨液供应设备的进口替代需求[123] - 公司2022年将持续开展国内外优秀人才的引进及人才留用发展工作[123] - 前道工艺设备投资占总设备投资的80%以上[51] - 晶圆制造过程需超过200道清洗步骤[51] - 晶圆加工制造设备占半导体设备总投资80%以上[109] - 清洗工序步骤占芯片制造所有工序步骤30%以上[110] - 2018年全球半导体清洗设备市场规模34.17亿美元[111] - 2024年全球半导体清洗设备市场规模预计达31.93亿美元[111] - 中国半导体自给率27%，目标2025年达50%[115] - 2021年全球晶圆厂设备支出创新高达890亿美元[115] - 2022年全球晶圆厂设备支出预计突破1000亿美元[115] - 2022年全球半导体产业资本投资预计增加24%达1904亿美元[115] - 日本Screen公司占半导体清洗设备市场份额约50%[115] - 2021年中国集成电路产业销售额10,458.3亿元，同比增长18.2%[95] 公司治理和股权结构 - 公司2021年度拟不进行现金分红、送股、资本公积金转增股本[6] - 公司报告期内不存在被控股股东及其关联方非经营性占用资金情况[8] - 公司报告期内不存在违反规定决策程序对外提供担保的情况[8] - 公司报告期内不存在半数以上董事无法保证年度报告真实性的情况[8] - 公司报告期内不存在对公司生产经营产生实质性影响的特别重大风险[8] - 董事长兼总经理蒋渊持股70,802,240股，年度税前报酬总额28.60万元[135] - 董事兼副总经理赵浩持股减少3,173,020股至10,542,620股（减持23.1%），税前报酬33.01万元[135] - 财务总监陆磊持股增加251,000股至351,000股（股权激励），税前报酬65.32万元[135] - 副总经理沈一林持股增加251,000股至341,000股（股权激励），税前报酬65.02万元[135] - 董事会秘书柴心明持股增加54,000股至75,000股（股权激励），税前报酬15.50万元[135] - 监事蒋善清持股增加7,500股至67,500股（二级市场买入），税前报酬18.47万元[135] - 独立董事周国华与施振业税前报酬均为12万元，未持有公司股份[135] - 行政总监兼监事会主席时秀娟税前报酬30.40万元，未持有公司股份[135] - 监事陈银柱任期至2021年4月16日，税前报酬5.23万元[135] - 报告期末全体董事、监事和高级管理人员实际获得的报酬合计为302.35万元[145] - 公司董事、监事及高级管理人员持股总量从90,218,880股减少至87,609,360股（减少2.9%）[138] - 监事陈银柱因个人原因辞职离任[145] - 蒋善清经职工代表大会选举担任监事[145] - 董事会秘书柴心明因个人原因辞职离任[145] - 实际控制人蒋渊、陆龙英、尚纯投资承诺长期有效履行关联交易及同业竞争相关承诺（2018年9月25日起）[191][194] - 赵浩及其一致行动人承诺长期有效规范关联交易及避免资金占用行为（2018年9月25日起）[191][194] - 所有承诺方均按约定及时严格履行承诺义务，未出现违约情况[191][194] - 赵浩持有至纯科技股份中11,747,323股锁定期12个月，1,968,317股锁定期36个月[197] - 平湖合波、上海蒲锐迪、上海颀瑞所持至纯科技全部股份锁定期均为12个月[197] - 平湖波威所持至纯科技全部股份锁定期均为36个月[197] - 业绩承诺方股份按22%、32%、46%比例分三年解锁[197][200] - 2018年业绩完成100%以上可解锁22%股份[200] - 2018-2019年累计业绩完成100%以上可解锁32%股份（累计54%）[200] - 2018-2020年累计业绩完成100%以上可解锁46%股份（累计100%）[200] - 业绩未达标时剩余股份按当年累计可解锁数额范围内解锁[200] - 交易对方持股超至纯科技总股本5%时按证监会规定解禁[200] - 送红股、转增股本等衍生股份同样遵守限售期约定[200] 研发和创新 - 研发投入总额3.02亿元，占营业收入比例14.50%，其中资本化研发投入占比52.23%[89] - 研发人员数量240人，占公司总人数比例16.32%[90] - 研发人员学历构成：博士6人、硕士30人、本科138人、专科54人、高中及以下12人[93] - 研发人员年龄分布：30岁以下90人、30-40岁97人、40-50岁41人、50-60岁10人、60岁及以上2人[93] - 专利申请551项其中发明专利250项[70] - 已授权专利322项其中发明专利72项[70] 现金流和融资活动 - 经营活动产生的现金流量净额为-1.91亿元人民币，较上年同期改善[27] - 经营活动现金流量净额改善至-1.91亿元人民币，同比改善32.11%[76][79] - 筹资活动现金流量净额同比下降59.16%至9.06亿元人民币[76] - 公司拟发行可转债总额不超过11亿元用于多个研发及生产项目[43] - 公司以公允价值计量的金融资产期末价值1.79亿元，影响当期公允价值变动收益2,382.78万元[102] - 出售上海江尚实业49%股权获得1.13亿元[103] - 至微半导体引入战略投资者增资2.32亿元，出让7.95%股权[103] 客户和供应商集中度 - 前五名客户销售额8.59亿元，占年度销售总额41.28%[89] - 前五名供应商采购额5.07亿元，占年度采购总额30.53%[89] 员工构成 - 公司员工总数1471人，其中技术人员781人占比53.1%[164] - 本科及以上学历员工678人占比46.1%[164] - 生产人员442人占比30.1%[164] - 专科及以下学历员工793人占比53.9%[164] - 销售人员95人占比6.5%[164] - 行政及财务人员合计135人占比9.2%[164] - 专业管理人员18人占比1.2%[164] - 劳务外包工时总数710,820小时，支付报酬总额33,151,982元[168] 股权激励 - 副总经理陆磊报告期内新获授股票期权150,000股，期末持有269,000股，行权价格为18.4244元，期末市价为48.15元[178] - 副总经理沈一林报告期内新获授股票期权150,000股，期末持有269,000股，行权价格为18.4244元，期末市价为48.15元[178] - 董事会秘书柴心明报告期内行权股票期权24,000股，期末持有56,000股，行权价格为18.4244元，期末市价为48.15元[178] - 副总经理陆磊报告期内新获授限制性股票200,000股，授予价格为17.76元，期末持有200,000股，期末市价为48.15元[178] - 副总经理沈一林报告期内新获授限制性股票200,000股，授予价格为17.76元，期末持有200,000股，期末市价为48.15元[178] - 董事会秘书柴心明报告期内新获授限制性股票30,000股，授予价格为17.76元，期末持有30,000股，期末市价为48.15元[178] - 公司董事及高级管理人员报告期内股票期权行权合计126,000股[178] - 公司董事及高级管理人员报告期内新授予限制性股票合计430,000股[178] - 公司董事及高级管理人员报告期内新授予股票期权合计300,000股[178] - 公司对高级管理人员考核坚持收入与责任及绩效挂钩的原则[181] - 公司第三届董事会第四十二次会议于2021年1月12日审议通过调整第三期股权激励计划相关事项[146] - 公司第三届董事会第四十二次会议于2021年1月12日审议通过首次授予第三期股权激励股票期权与限制性股票[146] 资产和负债 - 归属于上市公司股东的净资产40.66亿元人民币，同比增长29.38%[27] - 总资产79.33亿元人民币，同比增长33.18%[27] - 公司2021年总资产79.33亿元，同比增长33.18%[39] - 总资产79.33亿元同比增长33.18%[75] 非经常性损益 - 计入当期损益的政府补助8405.56万元人民币[34] - 其他非流动金融资产当期公允价值变动对利润影响金额为23,827,801.11元[37] - 非经常性损益合计为19,713,249.61元[36] 风险和风险管理 - 公司下游集成电路行业投资的周期性波动会直接影响市场需求、销售毛利率及销售回款[124] - 公司清洗设备部分零部件依赖进口，国际形势紧张可能导致生产及营收不及预期[124] - 竞争对手采取价格战策略将影响公司销售及利润[124] - 集成电路领域技术产能向中国大陆转移带来人才抢夺风险[125] - 公司通过书面催款、缩短信用期等方式控制应收账款信用风险[128] - 公司财务部门通过多种途径维持备用资金以满足短期和长期需求[128] - 公司境外子公司及业务存在外币结算汇率风险[128] 董事会和股东大会 - 公司2021年董事会共召开17次会议，其中现场会议1次，通讯方式1次，现场结合通讯方式15次[153] - 公司2021年共召开1次年度股东大会和5次临时股东大会，议案均获表决通过[132] - 公司第三届董事会第四十一次会议于2021年1月4日审议通过提前赎回"至纯转债"的议案[146] - 公司第三届董事会第四十二次会议于2021年1月12日审议通过使用募集资金向募投项目实施主体增资[146] - 公司第三届董事会第四十二次会议于2021年1月12日审议通过董事会换届选举暨提名第四届董事会董事候选人[146] - 公司审议通过2020年度利润分配预案[150] - 公司计划公开发行A股可转换公司债券，相关方案和预案已获董事会审议通过[150][152] - 公司2021年新增授信及担保额度预计议案获董事会审议通过[150] - 公司出售上海江尚实业有限公司49%股权，该关联交易议案已获批准[150] - 公司2020年度财务决算报告获董事会审议通过[150] - 公司部分募投项目延期及单个项目节余募集资金永久补流议案获董事会批准[152] - 公司2021年第三季度报告获董事会审议通过[152] - 公司2021年半年度报告及其摘要获董事会审议通过[150] - 公司使用部分闲置募集资金暂时补充流动资金议案获董事会批准[150] 分红和利润分配 - 2020年度现金分红总额52,121,141.46元，占净利润20%[169] - 调整后每股现金分红为0.16363元[169] 企业社会责任和环保 - 公司总部大楼全部采用LED灯具节能照明，并设置30立方米雨水收集系统用于灌溉及清洁[187] - 公司利用办公楼及研发楼楼顶建设分布式光伏发电项目，装机容量达560KWp，实行自发自用余电上网[187] - 公司于2022年4月30日披露《2021年度企业社会责任报告》[188] - 公司明确报告期内不涉及巩固拓展脱贫攻坚成果及乡村振兴相关工作[189]