募集资金 - 可转换公司债券募集资金总额11.7亿元，净额11.5892160378亿元[1] - 发行费用1107.84万元，自筹预付263.45万元拟置换[7] 募投项目 - 半导体薄膜沉积设备智能化工厂拟用募资6.428亿元[5] - 研发实验室扩建项目拟用募资2.272亿元[5] - 补充流动资金拟用募资2.889216亿元[5] 资金置换 - 公司自筹1.726056亿元预先投入募投项目拟置换[6] - 2025年10月29日同意置换1.752401亿元[10] - 保荐人同意置换事项[11]