激励计划人员与股份分配 - 激励计划首次授予部分激励对象420人，约占公司全部职工人数27.74%[13] - 激励对象含1名中国台湾籍核心技术人员[14] - 高级管理人员龙文获授限制性股票2.37万股[16] - 财务负责人俞潇莹获授限制性股票1.98万股[16] - 核心技术人员吴兴华获授限制性股票1.00万股[16] - 核心技术人员许所昌获授限制性股票2.21万股[16] - 其他激励对象获授限制性股票325.20万股[16] - 首次授予部分小计获授限制性股票332.76万股，占本激励计划授出权益数量86.94%[16] - 预留部分获授限制性股票50.00万股，占本激励计划授出权益数量13.06%[16] - 本激励计划合计授予限制性股票382.76万股，占股本总额0.83%[16][23] 回购股份情况 - 2024年2月27日公司通过回购股份方案，回购资金不低于3000万元、不超过6000万元[19] - 截至2024年5月1日，公司累计回购股份803,658股，占总股本0.18%，支付资金30,005,892.84元[20] - 2024年11月14日公司通过第二期回购股份方案，回购资金不低于4000万元、不超过8000万元[21] - 2025年6月25日起，2024年第二期回购股份价格上限调整为不超42.72元/股[22][23] - 截至2025年8月31日，公司累计回购股份2,901,842股，占总股本0.63%，支付总金额79,526,891.92元[23] 激励计划规则 - 调整后预留权益比例不得超激励计划拟授予权益数量的20%，任一激励对象获授股票不超公司总股本的1%[17] - 本激励计划有效期最长不超48个月，授予日由董事会确定且为交易日[26] - 限制性股票归属日为交易日，且不在规定的四类期间内[26] - 首次授予限制性股票归属分三个阶段，比例分别为35%、35%、30%[27] - 若预留部分2025年第三季度报告披露前授予，归属安排同首次授予；之后授予，分两阶段，比例均为50%[27][28] - 公司董事和高管在任期内和届满后6个月内每年转让股份不得超持股总数25%，离职半年内不得转让[28] - 公司董事和高管6个月内买卖股票收益归公司，董事会收回[29] 授予价格与考核指标 - 首次授予限制性股票授予价格为24.30元/股[31] - 预留限制性股票授予价格为24.30元/股[32] - 首次授予部分限制性股票考核年度为2025 - 2027年，2025年净利润率不低于10%或半导体业务新签订单金额增长率不低于35%[36] - 2026年净利润率不低于10%，半导体业务新签订单金额增长率不低于82%或2025 - 2026年累计增长率不低于217%[36] - 2027年净利润率不低于10%，半导体业务新签订单金额增长率不低于146%或2025 - 2027年累计增长率不低于463%[36] - 若预留部分2025年第三季度报告披露前授予完成，考核同首次授予部分；披露后授予完成，考核年度为2026 - 2027年[38] 其他要点 - 激励对象资金来源为自有或自筹资金，公司不为激励对象获取限制性股票提供财务资助[52] - 激励计划产生的激励成本将在经常性损益中列支[58] - 股权激励实施将对公司持续经营能力和股东权益带来持续正面影响[58] - 激励计划考核指标分为公司层面业绩考核和个人层面绩效考核[60] - 公司是国内首家将量产型High - k原子层沉积设备应用于集成电路制造前道生产线的国产设备厂商[61] - 公司选取净利润率和半导体业务新签订单金额为公司层面业绩考核指标[62] - 激励计划业绩考核指标设定具科学性和合理性，考核体系全面、综合、可操作[63] - 激励计划实施尚需公司股东大会决议批准[68]