募资情况 - 公司首次公开发行31,619,800股A股，发行价每股71.88元，募集资金总额227,283.12万元，净额212,759.73万元[1] 项目进展 - 高端半导体设备扩产等5个项目已结项[4] - 高端半导体设备产业化基地建设项目实施中，募集资金计划投资额26,826.60万元[4] 资金运用 - 2024年度公司用19,727.29万元超募资金回购股份[5] - 2025年9月12日公司通过用自有资金付募投项目资金并以募集资金等额置换议案[1] - 监事会和保荐机构同意公司使用自有资金支付募投项目所需资金并以募集资金等额置换事项[12][13]