募集资金情况 - 2023年5月首次公开发行8000万股，每股发行价23.60元，应募集资金总额188800万元，实际募集资金净额169838.66万元[2] - 截至2024年12月31日，募集资金余额45687.44万元，其中未到期理财产品13000万元，专户余额32687.44万元[6] - 截至2024年12月31日，募集资金未使用金额4.568744亿元，占前次募集资金净额26.90%[21] - 截至2024年12月31日，募集资金净额169838.66万元，累计使用126990.33万元[35] 资金使用情况 - 2023年使用募集资金67918.59万元，2024年使用59071.74万元[35] - 2023年使用2.05亿元超募资金补充流动资金和还贷，占超募资金总额29.35%[22] - 2024年使用1.930774亿元超募资金补充流动资金和还贷，占超募资金总额27.65%[23][24] - 2023年使用1.06亿元募集资金向子公司实缴注册资本，提供2.02亿元借款[25] - 截至2024年12月31日，向子公司实缴注册资本1.06亿元，提供借款1.47亿元[27] 项目投资情况 - 2023年12月增加“高端半导体质量控制设备产业化项目”投资规模30877.70万元，总投资额调至61773.54万元[11] - 高端半导体质量控制设备产业化项目实际投资16910.15万元，与募集后承诺差额-44767.55万元[35] - 研发中心升级建设项目实际投资14278.60万元，与募集后承诺差额78.60万元，已完成[35] - 补充流动资金项目实际投资55596.93万元，与募集后承诺差额596.93万元[35] 资金管理情况 - 2023年6月同意使用不超14亿元闲置募集资金现金管理，期限12个月[17] - 2024年6月同意使用不超8亿元闲置募集资金现金管理，期限12个月[18] - 截至2024年12月31日，闲置募集资金现金管理余额1.3亿元，利率2.90%[19][20]