募集资金情况 - 2023年5月首次公开发行8000.00万股，每股发行价23.60元，实际募集资金净额169838.66万元[13] - 截至2024年12月31日，募集资金余额45687.44万元，占前次募集资金净额的26.90%[17][30] - 截至2024年12月31日，理财收益1795.16万元，募集资金利息收入扣除手续费净额1043.95万元[17] 资金使用情况 - 2023 - 2024年使用超募资金40204.65万元永久补充流动资金和偿还银行贷款[32][33] - 2023 - 2024年使用募集资金总额分别为67918.59万元、59071.74万元[45] - 截至2024年12月31日，以募集资金置换自筹资金及支付募投项目款项置换金额共36246.03万元[24][25] 项目投资情况 - 2023年同意增加“高端半导体质量控制设备产业化项目”投资规模30877.70万元[21] - “高端半导体质量控制设备产业化项目”实际投资16910.15万元，与募集后承诺差额 -44767.55万元[45] - “补充流动资金项目”实际投资55596.93万元，与承诺差额596.93万元[46] 其他情况 - 2023 - 2024年同意使用闲置募集资金现金管理额度分别不超140000万元、80000万元[26][27] - 截至2024年12月31日，部分募集资金专户已注销或在办理注销手续[15] - 前次募集资金实际使用与已公开披露信息无差异[42]