行业与公司 * 涉及的行业为半导体设备、材料及零部件行业[1] * 涉及的公司包括：北方华创、中微公司、拓荆科技、微导纳米、中科仪、华海清科、万业企业、芯源微、中科飞测、精测电子、路维光电、江丰电子等[3][7][8][10][14] 核心观点与论据 * 核心投资逻辑是国产替代，应关注低渗透率细分板块[1][2] * 从成熟制程到先进制程，再到高难度领域，渗透率和技术壁垒逐步提升[2] * 存储器市场扩产是核心驱动力，带来持续设备订单[1][4] * 长存和长鑫预计2026年扩产至10万片/月左右[1][4] * 新增半导体设备几乎全为国产[1][4] * 2026年半导体设备市场整体需求预计达1,700亿人民币[1][5] * 存储器相关资本开支约144亿美元（约1,000亿人民币）[1][5] * 先进逻辑相关需求约100亿美元（约700亿人民币）[1][5] * 国产设备订单放量节奏明确 * 2026-2027年订单主要来自存储器扩产[1][6] * 2027下半年至2028年将逐步看到先进逻辑订单增量[1][6] * 设备端投资关注两个维度 * 价值量高的环节：刻蚀、薄膜、光刻机[1][7] * 国产化率低的环节：离子注入、Track（涂胶显影）、量检测设备[1][8] * 零部件及材料领域关注**国产化率低于10%**且技术难度中高的环节[1][9] * 例如掩模板、湿电子化学品（粗抛液、精抛液等）、光刻胶[1][9] * 推荐个股基本面稳健，受益于行业扩产与技术突破[10][12] * 路维光电（掩模板）：预计2025-2027年收入增长35%，利润增长更高[10] * 江丰电子（靶材及零部件）：全球唯三供应3纳米靶材企业之一，预计未来三年收入复合增速20%以上[13][14] * 中科飞测（量检测）：在量测和检测设备领域有显著进展[15] 其他重要内容 * 湿电子化学品中的清洗液国产化率已达80%左右，但粗抛液、精抛液等仍需重点关注[9] * 光刻机目前国内市场仍依赖进口（主要是阿斯麦尔）[7] * 江丰电子2026年估值预计为350亿元，对应市盈率50倍[1][13] * 中科飞测具体产品进展： * 暗场检测（无图形与有图形）合计占整个订单比重60%以上[15] * 介质和金属膜厚测试产品占2025年订单比重8%至10%[15] * 套刻精度量测产品占2025年订单比重不到10%[15] * 电子束产品预计2026年第二季度进入客户端验证[15]