文章核心观点 - 中央政府采购平台（zycgr）发布了22项仪器设备采购意向，预算总额达1.34亿元，预计采购时间为2025年8月至11月 [2][3] 采购概况 - 采购涉及22项仪器设备，预算总额为1.34亿元 [2][3] - 预计采购时间为2025年8月至11月 [3] 重点采购仪器设备简介 - 特征尺寸扫描显微镜（CD-SEM）是半导体制造中用于纳米级图形尺寸测量与缺陷检测的核心设备，被誉为"芯片工厂的尺子" [4] - 电感耦合等离子体-反应离子刻蚀（ICP-RIE）是半导体制造中用于纳米级材料精确加工的核心技术，被誉为"半导体工艺的手术刀" [5] 详细采购清单与预算 - 350kg真空感应熔炼炉，预算340万元，采购时间2025年11月 [7] - 200kg保护气氛电渣熔炼炉，预算200万元，采购时间2025年11月 [7] - 200kg真空自耗炉，预算300万元，采购时间2025年11月 [7] - 直流耐压装置，预算100万元，采购时间2025年9月 [8] - 交流耐压装置，预算140万元，采购时间2025年9月 [8] - 高压隔离数据采集系统，预算290万元，采购时间2025年9月 [8] - 传感器耐压壳体采购项目，预算160万元，采购时间2025年8月 [8] - 传感器敏感元件采购项目，预算200万元，采购时间2025年8月 [8] - 水密连接器采购项目，预算400万元，采购时间2025年8月 [8] - 传感器金属悬挂框采购项目，预算120万元，采购时间2025年8月 [8] - 扩展C波段光学测试平台，预算240万元，采购时间2025年9月 [8] - 扩展L波段光学测试平台，预算210万元，采购时间2025年9月 [8] - 分析型超速离心机采购，预算470万元，采购时间2025年10月 [8] - 推进器（泵喷组件）采购项目，预算300万元，采购时间2025年9月 [8] - 热氧化炉，预算750万元，采购时间2025年8月 [8] - 反应离子刻蚀（RIE），预算1160万元，采购时间2025年8月 [8] - 电感耦合等离子体-反应离子刻蚀（ICPRIE），预算1660万元，采购时间2025年8月 [8] - 聚焦离子束系统，预算1703万元，采购时间2025年8月 [8] - 质谱仪（MS），预算990万元，采购时间2025年8月 [8] - 透射电子显微镜（TEM），预算2180万元，采购时间2025年8月 [8] - 特征尺寸扫描显微镜（CD-SEM），预算1300万元，采购时间2025年8月 [8] - 干粉浓相加压输送单元，预算196万元，采购时间2025年8月 [8] 采购设备应用领域 - 多项设备（如CD-SEM、ICP-RIE、热氧化炉）明确指向半导体制造工艺 [4][5][8] - 分析型超速离心机用于蛋白组分分析、药物筛选、病毒载体设计等生物医药领域 [8] - 聚焦离子束系统、质谱仪与脑机接口电极阵列及颅内生物传感器研发需求高度匹配 [8]