报告行业投资评级 未提及 报告的核心观点 中国半导体设备金属机械类零部件行业技术密集度高，受益于晶圆厂扩产和下游市场发展，市场规模不断扩大，国家政策支持和国产替代趋势将推动行业进一步发展，5G、IoT、AI等高新技术也将带来新需求，预计2024年市场规模持续扩大 [1] 行业定义 - 半导体设备零部件需满足半导体设备技术要求，机械类零部件细分含金属件等，金属件占比最高，金属机械类零部件指特定金属类零部件 [2] 行业分类 - 按功能用途分金属工艺件和金属结构件，金属工艺件含反应腔等，腔体为晶圆生产提供特定环境，内衬保护腔体，匀气盘保证晶圆表面膜层均匀；金属结构件含托盘等，对性能有较高要求 [3][4] 行业特征 - 技术密集，用于精密半导体制造，有精度高、批量小等特点 [5] - 多学科交叉融合，研发等涉及多学科，需复合型人才 [6] - 碎片化特征明显，市场分支多，生产工艺要求高，单一产品空间小，技术门槛高，企业多“小而精” [8] 发展历程 - 起步于21世纪初，企业开始研制零部件 [9] - 2012 - 2017年初具规模，开始批量供应下游市场 [11] - 2018年至今快速发展，技术水平逐渐追赶国际企业 [12] 产业链分析 产业链核心研究观点 - 上游原材料占比约45%，价格波动影响中游成本和毛利，高端原材料依赖进口 [14] - 中游市场集中度低，国产替代趋势明显 [15] 产业链上游分析 - 原材料包括铝等金属，占成本比例高，价格受多种因素影响波动大，影响中游企业 [18] - 高端金属零部件制造原材料多被美日公司垄断，中国因科技供给等问题进口依赖度高 [19] 产业链中游分析 - 金属件在半导体设备机械类零部件中占比最高，市场集中度分散，企业多专注特定工艺或产品 [22] - 中国企业有本土优势，受益于国产替代趋势，下游需求增加 [25] 产业链下游分析 - 刻蚀设备和薄膜沉积设备市场是重要下游市场，价值量约占半导体设备市场40% [27] 行业规模 行业规模概况 - 2019 - 2023年市场规模由8.41亿美元增至23.14亿美元，年复合增长率28.81%；预计2024 - 2028年由30.32亿美元增至89.29亿美元，年复合增长率31.00% [28] 市场规模历史变化原因 - 受益于中国大陆晶圆厂成熟制程扩产，国内设备厂商崛起，下游市场扩容带动上游发展 [29] - 受下游半导体行业周期性影响，2022年市场规模短暂下行，2023年逐渐复苏 [30] 市场规模未来变化原因 - 国家产业政策支持，国产替代迎来红利，中国厂商加快“去A化”，推进国产替代进程 [32] - 5G、IoT、AI等高新技术发展为下游产品带来新需求，半导体设备市场规模将扩大，为零部件供应商提供机遇 [33] 政策梳理 - 《中华人民共和国国民经济和社会发展第十四个五年规划和2035年远景目标纲要》重视集成电路关键零部件研发和材料技术突破，带动半导体关键金属零部件发展 [35] - 《“十四五”智能制造发展规划》提出发展智能制造装备，突破“卡脖子”零部件，支持半导体精密零部件企业 [36] - 《扩大内需战略规划纲要（2022 - 2035年）》对集成电路行业提升产业链集成能力有指导意义，推动上游企业发展 [36] - 《制造业可靠性提升实施意见》促进产业链等融合，推动半导体精密零部件研发 [36] - 《关于印发电子信息制造业2023 — 2024年稳增长行动方案的通知》强调集成电路行业提升高端供给水平，对零部件研发生产提出更高要求 [36] 竞争格局 竞争格局概况 - 行业整体集中度分散，领先企业多来自欧美日，中国企业多专注特定领域，先锋精科是细分领域专家 [38] - 行业分三个梯队，第一梯队有日本Ferrotec等，第二梯队有富创精密等，第三梯队为其他中小企业 [38] 竞争格局形成原因 - 国外企业进入市场早，有先发和技术优势；中国企业起步晚，正加速追赶 [39] 竞争格局变化原因 - 全球半导体行业发展使需求增加，吸引更多参与者，领先企业并购重组，竞争加剧，国产替代加速使市场集中度有望提高 [42] - 全球半导体竞争区域化重塑，中国国产替代趋势有望提升中国企业市占率 [43] 上市公司速览 |公司名称|总市值|营收规模|同比增长(%)|毛利率(%)| | --- | --- | --- | --- | --- | |江苏先锋精密科技股份有限公司|-|5.6亿元|-|-| |苏州珂玛材料科技股份有限公司|-|6.2亿元|74.7|59.4| |沈阳富创精密设备股份有限公司|-|7.0亿元|105.5|25.4| |宁波江丰电子材料股份有限公司|-|26.3亿元|41.8|-| |昆山新莱洁净应用材料股份有限公司|-|21.6亿元|9.3|25.0| |浙江晶盛机电股份有限公司|-|134.6亿元|80.4|-| |湖北菲利华石英玻璃股份有限公司|-|14.9亿元|17.3|50.5| |中芯国际集成电路制造有限公司|-|213.2亿元|-13.3|-| |拓荆科技股份有限公司|-|-|-|-| |华海清科股份有限公司|-|24.5亿元|33.2|45.8| [44][46] 企业分析 江苏先锋精密科技股份有限公司 - 公司存续，总部泰州，属电子设备制造业，经营范围含半导体设备制造等 [48] - 财务数据显示不同年份销售现金流/营业收入等指标有变化 [49][50] - 是刻蚀和薄膜沉积设备细分领域精密制造专家，可量产供应7纳米及5纳米国产刻蚀设备关键零部件，还在其他领域探索新产品 [51] 沈阳富创精密设备股份有限公司 - 公司存续，总部沈阳，属电子设备制造业，经营范围含机械零件加工等 [52][53] - 财务数据展示不同年份各指标情况 [54][55] - 2022年10月成为科创板首家半导体设备精密零部件上市公司，专注金属材料零部件精密制造技术，产品性能达国际标准，服务龙头企业 [56] 宁波江丰电子材料股份有限公司 - 公司存续，总部宁波，属电子设备制造业，经营范围含电子专用材料研发等 [57] - 财务数据呈现各年份指标变化 [58][59] - 专注超高纯金属溅射靶材、半导体精密零部件研发等，产品用于超大规模集成电路芯片领域 [60]