21世纪经济报道记者 赵云帆 据中国政府采购网公示，12月25日，上海微电子装备（集团）股份有限公司中标zycgr22011903采购步 进扫描式光刻机项目，设备数量为一台，成交金额10999.985万元。 公开资料显示，上海微电子隶属上海电气集团，为中国半导体装备领域的核心企业，尤其在高端光刻机 的研发与制造方面处于国内领先地位。今年5月，上海微电子已经官宣实现90nm ArF光刻机实现量产。 值得注意的是，该中标公示中的几个关键信息，引发了外界的热议。 根据《政府采购法》，"单一来源采购"的情况，仅被允许在因货物或服务使用了不可替代的专利、专有 技术，或者公共服务项目有特殊要求，导致只能从某一特定供应商处采购；包括不可预见的紧急情况； 保证原有项目一致性或服务配套；以及招标失败等情况。 值得注意的是，根据公示信息，此次采购主体"zycgr22011903"使用了保密代码，其一般为保密需求的 特定机构、项目主体或采购批次的代称。 而从"zycgr22011903"过去一段时间的半导体相关开标情况来看，该主体在半导体领域分别招标了包括 晶圆清洗机、椭偏仪、等离子体增强化学气相沉积(PECVD)、原子层刻蚀设备 ...