指数与成分股表现 - 截至2025年12月22日13点42分，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨4.06% [1] - 成分股艾森股份上涨13.25%，神工股份上涨9.40%，拓荆科技上涨9.32%，中芯国际涨超6% [1] - 跟踪该指数的科创半导体ETF（588170）上涨3.72% [1] 公司研发投入情况 - 中芯国际三季报显示研发费用为38.22亿元，位列半导体公司前列 [1] - 其研发投入领先于北方华创的32.85亿元和海光信息的25.86亿元 [1] 相关ETF产品信息 - 科创半导体ETF（588170）及其联接基金跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数 [1] - 该指数囊括科创板中半导体设备（占比61%）和半导体材料（占比23%）细分领域的硬科技公司 [1] - 半导体材料ETF（562590）及其联接基金的指数中，半导体设备占比61%、半导体材料占比21% [1] 行业背景与驱动因素 - 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高的属性 [1] - 行业受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮以及光刻机技术进展 [1]