指数与ETF表现 - 上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨1.86%，成分股中科飞测上涨5.31%，华海诚科上涨2.95%，艾森股份上涨2.89% [1] - 科创半导体ETF上涨1.71%，报1.37元，冲击4连涨，近3月累计上涨10.58%，近6月净值上涨40.30% [1] - ETF近6月业绩在指数股票型基金中排名593/3914，居于前15.15%，自成立以来最长连涨月数为4个月，最长连涨涨幅为58.76% [1] 流动性与资金动向 - ETF盘中换手率2.57%，成交8441.64万元，近1月日均成交4.44亿元 [1] - 最新资金单日净流出5119.42万元，但近5个交易日内有3日资金净流入，合计流入1.17亿元，日均净流入2337.91万元 [1] - 杠杆资金持续布局，最新融资买入额1397.91万元，融资余额达4067.75万元 [1] 规模与份额增长 - 科创半导体ETF近3月规模增长27.71亿元，新增规模在可比基金中排名1/3 [1] - ETF近1周份额增长2200.00万份，新增份额在可比基金中排名1/3 [1] 产品结构与跟踪精度 - 科创半导体ETF管理费率0.50%，托管费率0.10% [3] - ETF近3月跟踪误差为0.006%，紧密跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数 [4] - 截至2025年10月31日，指数前十大权重股合计占比73.8%，包括拓荆科技、中微公司、华海清科等 [4] 成分股关键数据 - 指数前十大权重股中，中微公司权重10.82%涨幅1.98%，华海清科权重10.26%涨幅2.07%，拓荆科技权重9.87%涨幅1.36% [5] - 权重股中科飞测涨幅领先达5.31%，权重为7.06% [5]