合作研发项目 - 公司控股子公司苏州芯慧联的下属公司佛山芯慧联拟与国内知名高校及研究机构共同签订合作研发项目合同书 [1] - 项目旨在共同开发大世代干法刻蚀装备，佛山芯慧联将作为项目的牵头单位 [1] - 佛山芯慧联计划投入自有资金2.19亿元用于此研发项目 [1]