公司上市进展 - 上海证券交易所上市审核委员会定于11月14日召开2025年第54次审议会议，审议深圳市恒运昌真空技术股份有限公司的首发事项 [1] 公司业务与市场地位 - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商，主要围绕等离子体工艺打造产品矩阵，产品包括自研的等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源、配件以及引进的真空泵、质量流量计等，同时提供技术服务 [2] - 公司半导体级等离子体射频电源系统于2018年开始研发、2020年下半年开始批量交付，报告期内已实现大规模收入，产品性能获得市场认可 [2] - 2024年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场规模为65.6亿元，市场呈现海外巨头高度垄断格局 [2] - 2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，公司市场份额位列第一，市场地位领先 [2] - 公司是国家高新技术企业、国家专精特新重点"小巨人"、广东省2024年制造业单项冠军，拥有已授权发明专利108项，在申请发明专利133项 [3] 研发投入与技术创新 - 公司研发投入持续高增长，2022年至2024年研发投入分别达到2154.21万元、3696.37万元和5528万元，占营收比例均超10% [4] - 2025年上半年公司研发费用达4330.84万元，较上年同期增长72.63% [4] - 公司构建了完善的技术体系，形成3大基石技术及8大产品化支撑技术，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制等关键技术 [4] - 公司聚焦等离子体射频电源系统技术攻关，先后推出三代产品系列，成功打破美系巨头MKS和AE的垄断格局 [4] - 公司第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7至14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白 [4] 财务业绩表现 - 公司营业收入高速增长，2022年至2024年营业收入分别为15815.80万元、32526.85万元、54079.03万元，复合增长率为84.91% [5] - 公司归属于母公司股东的净利润高速增长，2022年至2024年分别为2618.79万元、7982.73万元、14154.02万元，复合增长率为131.87% [5] 未来发展战略 - 公司将抓住半导体产业链国产化机遇，持续致力于半导体设备核心零部件的研发生产，通过自主创新提高产品技术先进性和市场占有率 [5] - 公司致力于成为围绕等离子体工艺提供核心零部件整体解决方案的平台型公司，并力争跻身国际一流的半导体设备核心零部件全球供应商行列 [5]