公司上市进程 - 深圳市恒运昌真空技术股份有限公司将于11月14日在科创板首发上会 [1] - 公司于今年6月13日申报科创板IPO 是经历现场检查后同批首家上会企业 [1] 核心业务与产品 - 公司是国内领先的半导体设备核心零部件供应商 主要从事等离子体射频电源系统的研发、生产、销售 [1] - 业务包括等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源等 并提供核心零部件整体解决方案 [2] - 等离子体射频电源系统在半导体制造中用于精确控制等离子体变化 实现薄膜沉积、图形刻蚀等关键工艺 [2] 产品技术与研发实力 - 第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程 第三代产品Aspen系列可支撑7至14纳米制程 达到国际先进水平并填补国内空白 [1][2] - 公司构建了3大基石技术及8大产品化支撑技术 拥有97项已授权发明专利 [5] 客户与市场地位 - 产品已实现量产交付 客户包括拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商 并配套中芯国际等晶圆厂 [3] - 公司是国内首家出货过亿元和首家实现支持先进制程的等离子体射频电源系统量产的国产厂商 [3] - 公司打破了海外巨头垄断 2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额位列第一 [4] 行业市场规模与竞争格局 - 2024年中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统的市场规模为65.6亿元 [4] - 市场目前仍呈现海外巨头MKS和AE高度垄断的竞争格局 [4]