行业概述与重要性 - 前道量检测设备是半导体制造中用于质量控制的关键设备，对保障芯片良品率、产品一致性和降低成本至关重要[2] - 该设备根据功能可分为测量设备（量化尺寸和材料性质）和检测设备（识别缺陷和污染）[2] - 随着制程进步和工艺步骤增加，缺陷概率上升，前道量检测设备成为晶圆制造产线中不可或缺的核心设备之一[4] 全球及中国市场规模 - 前道量检测设备是半导体设备市场的重要组成部分，约占全球半导体设备市场规模的13%[1][5] - 2024年全球半导体检测和量测设备市场规模达到152.2亿美元，同比增长18.7%[1][7] - 2024年中国大陆半导体检测与量测设备市场规模达438亿元，2020-2024年年均复合增长率高达30%[1][9] - 2024年全球半导体设备市场销售额达到1170亿美元的历史新高，中国市场占比42.3%[4][5] 市场竞争格局 - 全球前道量检测设备市场呈现高度集中格局，2024年前五家企业占据全球超80%的市场份额[1][11] - KLA公司为市场领导者，市占率超过50%，市场呈现"一超多强"格局[1][11] - 光学检测技术是主流技术，在2024年全球前道量检测设备市场中占比超过80%[7][8] 国内企业发展机遇 - 国内已涌现中科飞测、上海精测、睿励仪器、卓海科技等具备前道量检测设备供应能力的企业[1][11] - 受益于国家政策扶持和下游晶圆厂产能扩张，国内品牌市场占有率有望进一步提升[1][12][13] - 半导体产业向中国大陆转移，大陆成为全球半导体产能第三次扩张的重要目的地[5] 技术发展趋势 - 未来检测和量测设备需在灵敏度、准确性、稳定性、吞吐量等性能指标上进一步提升[14][15] - 随着工艺复杂度和成本提升，对生产过程中质量控制的需求将越来越大[14]