收购交易概述 - 公司拟以自有或自筹资金5.1亿元收购常州维普半导体设备有限公司51%股权 [1] - 交易完成后常州维普成为公司控股子公司并纳入合并报表范围 [1] 标的公司业务与市场地位 - 常州维普是国内极少数在半导体光掩模缺陷检测设备领域已实现规模化量产的企业 [1] - 其设备产品已实现对下游主要半导体掩膜版生产厂商的覆盖包括晶圆厂自建配套工厂和独立第三方掩模厂商 [1] 收购战略协同效应 - 公司致力于拓展激光直写光刻机在半导体光掩模制造领域的量产应用和国产替代 [1] - 公司潜在客户群体与常州维普现有客户体系基本重叠 [1] - 收购有利于利用常州维普现有客户资源减少客户开发成本和产品验证周期 [1]