广东唯一光刻机量产项目落地佛山 ABM拟三年内实现年产百台套
21世纪经济报道·2025-09-30 14:51
ABM总部位于中国香港,深耕半导体光刻设备领域逾20年,掌握超过2000项光刻机关键零部件的专有 技术。截至目前,ABM已向全球超300家客户累计交付近1000台(套)设备,产品广泛应用于集成电路 前道制造、先进封装等领域。 ABM佛山项目拟选址佛山市顺德区北滘镇,计划打造全球领先的集高端设备制造、尖端研发和中试功 能于一体的光刻机及先进封装核心设备生产基地,首期将建设光刻机、涂胶显影设备及晶圆键合机等核 心设备生产基地,规划三年内实现年产百台套的目标。 9月30日,佛山市与ABM, Inc. Asia Pacific Ltd.(下称"ABM")签订合作协议,广东唯一的光刻机量产项 目——年产百台套光刻机及先进封装核心设备生产基地项目落户佛山。 值得一提的是,项目从初步接触到正式签约仅用时三个月。"佛山政府的行动效率、对产业发展的渴望 和对产业的深刻理解,都让我印象深刻。"ABM公司董事长吴玷说,佛山作为粤港澳大湾区重要的制造 基地,拥有深厚的工业基础和成熟的精密制造能力,尤其在机械加工、光学元件、控制系统等领域具备 深厚积累,与光刻机等高精度装备的制造需求高度契合,"我们希望借助佛山作为内地与港澳合作'桥头 ...