每日经济新闻 （责任编辑：董萍萍 ） 截至9月30日13:19，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨1.46%，成分股神工股份上涨 13.63%，晶升股份上涨10.12%，芯源微上涨5.68%，中芯国际上涨3.07%。科创半导体ETF（588170） 上涨1.39%，盘中溢价频现，买盘活跃。拉长时间看，截至9月29日，科创半导体ETF近1周累计上涨 15.52%。 规模方面，科创半导体ETF最新规模达26.04亿元，创成立以来新高。从资金净流入方面来看，科 创半导体ETF近9天获得连续资金净流入，最高单日获得6.32亿元净流入，合计"吸金"17.21亿元，日均 净流入达1.91亿元。 公开信息显示， 科创半导体ETF （588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上 证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备 （59%）和半导体材料（25%）细分领 域的硬科技公司。 半导体设备 和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花 板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。 【免责声明】本文仅代表作者本人观点，与 ...