截至2025年9月30日 09:37，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.69%，成分股神工股份上涨 4.47%，晶升股份上涨3.39%，天岳先进上涨3.28%，中芯国际上涨3.07%，艾森股份上涨2.94%。科创半 导体ETF（588170）上涨0.60%，最新价报1.52元。拉长时间看，截至2025年9月29日，科创半导体ETF 近1周累计上涨15.52%。 规模方面，科创半导体ETF最新规模达26.04亿元，创成立以来新高。份额方面，科创半导体ETF最 新份额达17.25亿份，创成立以来新高。 （责任编辑：董萍萍 ） 【免责声明】本文仅代表作者本人观点，与和讯网无关。和讯网站对文中陈述、观点判断保持中立，不对所包含内容 的准确性、可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证。请读者仅作参考，并请自行承担全部责任。邮箱： news_center@staff.hexun.com 相关ETF：公开信息显示， 科创半导体ETF （588170）及其联接基金（A类：024417；C类： 024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中 半导体设备 （59%）和半导体材料 （25%）细分领域的硬科技公 ...