指数及成分股表现 - 截至9月29日11:06，上证科创板半导体材料设备主题指数上涨0.75% [1] - 成分股京仪装备上涨3.97%，拓荆科技上涨3.55%，中微公司上涨2.97%，中科飞测上涨2.03%，富创精密上涨1.92% [1] - 科创半导体ETF（588170）上涨0.41%，最新价报1.48元 [1] 资金流向与ETF规模 - 科创半导体ETF近8天获得连续资金净流入，最高单日获得6.32亿元净流入 [1] - 合计净流入资金14.90亿元，日均净流入达1.86亿元 [1] - 截至9月26日，科创半导体ETF规模突破23亿元，创历史新高 [1] 行业趋势与驱动因素 - 2025年以来半导体设备国产化进程进入加速期，上半年中国半导体设备市场国产化率达21%，同比提升5个百分点 [1] - 大基金三期首投聚焦键合设备，拓荆键科获4.5亿元投资 [1] - 华为昇腾AI芯片路线图推动先进制程需求 [1] - 国产设备商在先进封装、核心零部件等关键环节实现技术突破 [1] - 行业受益于AI算力与国产化的双重驱动，呈现"政策助力、技术突破、需求拉动"的良性循环 [1] ETF产品构成与定位 - 科创半导体ETF（588170）及其联接基金跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数 [2] - 指数囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司 [2] - 半导体材料ETF（562590）指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，聚焦半导体上游 [2] - 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性 [2] - 行业受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展 [2]