半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备 （59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。 截至2025年9月26日10:48，上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨2.08%，成分股华海清科 上涨7.2%，京仪装备上涨4.86%，中微公司上涨4.83%，安集科技，拓荆科技等个股跟涨。科创半导体 ETF（588170）上涨2.03%，最新价报1.51元。（588170）规模方面，科创半导体ETF（588170）最新规 模达16.89亿元，创成立以来新高。份额方面，科创半导体ETF（588170）最新份额达11.45亿份，创成 立以来新高。从资金净流入方面来看，科创半导体ETF（588170）近7天获得连续资金净流入，最高单 日获得2.62亿元净流入，合计"吸金"8.58亿元，日均净流入达1.23亿元。 相关ETF：公开信息显示，科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类： 024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料 （25%）细分领域的硬科技公司。半 ...