指数表现 - 上证科创板半导体材料设备主题指数截至2025年9月24日13点14分强势上涨9.80% [1] - 科创半导体ETF（588170）上涨9.50%，盘中一度飙涨10%，冲击3连涨 [1] 成分股表现 - 神工股份上涨20.01% [1] - 盛美上海上涨15.90% [1] - 京仪装备上涨15.03% [1] - 安集科技和华海清科等个股跟涨 [1] 资金流向 - 科创半导体ETF近5天获得连续资金净流入 [1] - 最高单日获得1.36亿元净流入 [1] - 合计净流入3.74亿元，日均净流入达7488.31万元 [1] 基金信息 - 科创半导体ETF（588170）及其联接基金（A类：024417；C类：024418）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数 [1] - 指数囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司 [1] 行业属性 - 半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域 [1] - 具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性 [1] - 受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展 [1]