产品发布 - Onto Innovation推出Atlas G6 OCD系统 具备更小光斑尺寸和更高精度 用于GAA逻辑和HBM工艺控制的人工智能设备[1] 技术特性 - 新系统采用更小光斑尺寸技术 显著提升测量精度[1] - 专门针对GAA晶体管架构和HBM高带宽内存的工艺控制需求[1] 应用领域 - 产品主要面向人工智能设备制造领域[1] - 系统支持下一代逻辑芯片和先进存储技术的工艺控制[1]